[发明专利]一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示装置有效
申请号: | 201510218799.6 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN104766933B | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 何晓龙;张锋;曹占锋;舒适;谷耀辉;徐威;鹿岛美纪 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 隔离 及其 制作方法 显示 面板 显示装置 | ||
1.一种隔离柱,其特征在于,包括第一材料图案以及位于所述第一材料图案上面的第二材料图案,其中,所述第一材料图案包括相对的上表面、下表面以及位于所述上表面和所述下表面之间相对的第一隔离侧面和第二隔离侧面,所述第二材料图案包括相对的上表面和下表面,其中,所述第一材料图案的上表面与所述第二材料图案的下表面直接接触,且所述第一材料图案的所述第一隔离侧面和所述第二隔离侧面在所述第二材料图案下表面所在平面的投影位于所述第二材料图案下表面的边缘之间。
2.根据权利要求1所述的隔离柱,其特征在于,所述第一材料图案的所述第一隔离侧面和所述第二隔离侧面在所述第二材料图案下表面所在平面的投影距离所述第二材料图案下表面边缘的最小距离不小于1微米。
3.根据权利要求2所述的隔离柱,其特征在于,所述第一材料图案的所述第一隔离侧面在所述第二材料图案下表面所在平面的投影距离所述第二材料图案下表面边缘的最小距离等于所述第二隔离侧面在所述第二材料图案下表面所在平面的投影距离所述第二材料图案下表面边缘的最小距离。
4.根据权利要求1所述的隔离柱,其特征在于,形成所述第一材料图案的材料为导电材料,形成所述第二材料图案的材料为绝缘材料。
5.根据权利要求1-4任一项所述的隔离柱,其特征在于,所述隔离柱还包括位于所述第一材料图案下面的绝缘图案,所述绝缘图案包括相对的上表面和下表面;所述绝缘图案的上表面与所述第一材料图案的下表面直接接触;
其中,所述第一材料图案的第一隔离侧面和第二隔离侧面在所述绝缘图案上表面所在平面的投影位于所述绝缘图案上表面的边缘之间。
6.根据权利要求1-3任一项所述的隔离柱,其特征在于,所述第一材料图案上形成有过孔,所述过孔将所述第一材料图案分成互不接触的两部分,所述第一隔离侧面和所述第二隔离侧面分别位于所述两部分。
7.根据权利要求4所述的隔离柱,其特征在于,所述第一材料为金属,所述第二材料为感光树脂。
8.根据权利要求1所述的隔离柱,其特征在于,所述第二材料图案的上表面的边缘位于所述第二材料图案的下表面的边缘之间。
9.根据权利要求1所述的隔离柱,其特征在于,所述隔离柱为条状,所述第一隔离侧面和所述第二隔离侧面为沿所述隔离柱长轴方向的侧面。
10.一种显示面板,其特征在于,包括衬底基板以及形成在所述衬底基板上的多个隔离柱以及位于相邻两个隔离柱之间的第一电极,其中,所述隔离柱为权利要求1-9任一项所述的隔离柱,所述第一电极包括上表面和下表面,所述第一电极上表面所在平面低于所述隔离柱的第一材料图案的上表面所在平面。
11.根据权利要求10所述的显示面板,其特征在于,所述第一电极上表面所在平面与所述隔离柱的第一材料图案的上表面所在平面的距离差不小于400纳米。
12.根据权利要求10或11所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:第二电极以及位于所述第一电极和所述第二电极之间的发光功能层,其中,所述第二电极位于所述第一电极和所述隔离柱的下面,且所述第二电极通过所述隔离柱的绝缘图案与所述隔离柱的第一材料图案绝缘。
13.根据权利要求10所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板为无源驱动的OLED显示面板。
14.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求10-13任一项所述的显示面板。
15.一种隔离柱的制作方法,其特征在于,包括:
沉积第一材料形成第一材料层;
沉积第二材料形成第二材料层;
利用干刻工艺或光刻工艺对所述第二材料层进行构图使所述第二材料层图形化,图形化后形成的第二材料图案包括第二材料层去除区域和第二材料层保留区域;
利用刻蚀液刻蚀位于所述第二材料层去除区域以及部分第二材料层保留区域的第一材料层,其中所述刻蚀液刻蚀所述第二材料层且不刻蚀所述第一材料层。
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