[发明专利]感光性树脂材料和树脂膜有效
申请号: | 201510218992.X | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN105022228B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 田中裕马 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | G03F7/016 | 分类号: | G03F7/016;G03F7/004;G03F7/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 龙淳,吕秀平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 材料 | ||
1.一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其特征在于:
含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物,
通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,
作为所述铁,含有非离子性的铁。
2.如权利要求1所述的感光性树脂材料,其特征在于:
作为所述铁,不含粒径为0.2μm以上的颗粒。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂材料,其特征在于:
所述永久膜为层间膜、表面保护膜或坝材。
4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂材料,其特征在于:不用于作为彩色滤光片和黑矩阵的用途。
5.一种使权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂材料固化而得到的树脂膜。
6.一种树脂膜,其特征在于:
其构成永久膜,
该树脂膜是使含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物的感光性树脂材料固化而得到的,
并且通过无火焰原子吸光分析所测得的铁的含量为0.005ppm以上80ppm以下,
作为所述铁,含有非离子性的铁。
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