[发明专利]感光性树脂材料和树脂膜有效

专利信息
申请号: 201510218992.X 申请日: 2015-04-30
公开(公告)号: CN105022228B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 田中裕马 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: G03F7/016 分类号: G03F7/016;G03F7/004;G03F7/09
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 代理人: 龙淳,吕秀平
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 材料
【权利要求书】:

1.一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其特征在于:

含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物,

通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,

作为所述铁,含有非离子性的铁。

2.如权利要求1所述的感光性树脂材料,其特征在于:

作为所述铁,不含粒径为0.2μm以上的颗粒。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂材料,其特征在于:

所述永久膜为层间膜、表面保护膜或坝材。

4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂材料,其特征在于:不用于作为彩色滤光片和黑矩阵的用途。

5.一种使权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂材料固化而得到的树脂膜。

6.一种树脂膜,其特征在于:

其构成永久膜,

该树脂膜是使含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物的感光性树脂材料固化而得到的,

并且通过无火焰原子吸光分析所测得的铁的含量为0.005ppm以上80ppm以下,

作为所述铁,含有非离子性的铁。

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