[发明专利]一种蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中：

所述蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，所述两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向；

所述基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及调整基板对位基板装载工位的基板位置调整设备，所述两个基板装载工位分别与所述两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应；

所述机械手包括两个末端执行器，所述两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔室至少为两个，所述基板位置调整腔室至少为两个，所述蒸镀设备还包括：

每个基板蒸镀工位所对应的掩模板存放腔室，所述掩模板存放腔室内的掩模板存放工位与对应的基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应。

3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述至少两个基板位置调整腔室包括基板传入位置调整腔室和基板传出位置调整腔室。

4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备为多个，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室之间配置有传送带；或者，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室为共用的一体结构。

5.如权利要求1～4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器设置在与主轴枢接的一个机械手臂上，且彼此间隔设定距离。

6.如权利要求1～4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器分别设置在与主轴枢接的两个机械手臂上。

7.如权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，每个机械手臂为可升降机械手臂。

8.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述两个机械手臂的末端执行器高度相同，或者，所述两个机械手臂的末端执行器高度不同。

9.如权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，每个机械手臂的末节节臂呈L形。

10.如权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述两个机械手臂对称设置。