[发明专利]用于微机械Z传感器的摆杆装置

权利要求书

1.一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，所述摆杆装置：

具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20，21)，其中，所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造；

对于每个摆杆臂(20，21)具有一个止挡区域，所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30)，其中，在每一个摆杆臂(20，21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。

2.根据权利要求1所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述摆杆装置(100)在所述止挡区域中的增高的程度基本上相应于所述第一止挡元件(30)的高度。

3.根据权利要求1或2所述的摆杆装置(100)，其特征在于，在所述摆杆装置(100)的下侧上对于每个摆杆臂(20，21)在所述第一止挡元件(30)和所述扭转轴线(10)之间附加地设置有至少一个第二止挡元件(31)。

4.根据以上权利要求中任一项所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述摆杆装置(100)的穿孔构造为具有倒圆的角的开口(80)。

5.根据权利要求4所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述开口(80)缝隙状地构造。

6.根据以上权利要求中任一项所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述摆杆装置(100)还具有至少一个减负荷元件(60)，所述至少一个减负荷元件以穿透所述摆杆装置(100)的全部层的缝隙的形式构造。

7.根据权利要求6所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述减负荷元件(60)在所述摆杆装置(100)的止挡装置(70)的区域中和/或从所述摆杆装置(100)的边缘区域开设到所述摆杆装置(100)中地构造。

8.一种微机械Z传感器(200)，其具有根据权利要求1至7中任一项所述的摆杆装置(100)。

9.一种用于制造微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)的方法，所述方法具有以下步骤：

提供两个非对称的皿状构造的摆杆臂(20，21)；

对于每个摆杆臂(20，21)如此构造各一个区域，使得所述区域具有至少一个第一止挡元件(30)并且相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，对于每个摆杆臂(20，21)在止挡装置(70)的区域中构造至少一个减负荷元件(60)，其中，所述减负荷元件(60)构造为穿透所述摆杆装置(100)的所有功能层(EP，FP)的缝隙。