[发明专利]一种新型的平板滚动纳米压印装置及压印方法

权利要求书

1.一种新型的平板滚动纳米压印装置，其特征在于，包括：

一柔性衬底；

一传动装置，包括柔性衬底滚轮、成品滚轮，柔性衬底滚轮和成品滚轮带动柔性衬底连续滚动；

一个光刻喷胶装置，设于所述传动装置上方且与所述柔性衬底对应；

至少一个预设有纳米图形单元的平板模具，平板模具与光刻喷胶装置平行设置，且与所述柔性衬底对应；

一紫外曝光系统，对压印后的柔性衬底进行曝光。

2.根据权利要求1所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：所述的柔性衬底还具有保护膜，保护膜与柔性衬底同轴绕制在衬底滚轮上，传动装置还包括保护膜滚轮，保护膜滚轮与衬底滚轮临近且反向转动，保护膜通过保护膜滚轮转动与柔性衬底分离，最后压印曝光后的柔性衬底与保护膜通过成品滚轮同步绕制在一起。

3.根据权利要求2所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：所述的传动装置还包括若干个传动轴。

4.根据权利要求3所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：还包括力学反馈装置，力学反馈装置设在柔性衬底滚轮与成品滚轮间，调控整个传动装置的运行速度及柔性衬底的张力。

5.根据权利要求1所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：所述的紫外曝光系统固定在平板模具上侧，随平板模具同步移动。

6.根据权利要求1所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：还包括压印头装置，所述的平板模具设于压印头装置内。

7.根据权利要求6所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：所述的压印头装置包括模具预设台、模具平台、驱动装置，模具预设台通过驱动装置带动上下及左右移动，所述的模具平台通过连动杆与模具预设台连接，紫外曝光系统固定在模具平台中部，在紫外曝光系统正下方固定平板模具。

8.根据权利要求1所述的平板滚动纳米压印装置，其特征在于：所述的光刻喷胶装置通过点滴喷墨方法将光刻胶喷涂在柔性衬底上。

9.一种利用平板滚动纳米压印装置进行压印的方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一：提供一柔性衬底，一传动装置，包括柔性衬底滚轮、成品滚轮，至少一个预设有纳米图形单元的平板模具，紫外曝光系统及一光刻胶喷头；

步骤二：柔性衬底滚轮与成品滚轮连续转动从而带动柔性衬底连续移动；使所述的光刻胶喷头与柔性衬底对准，将设定好的光刻胶喷涂在柔性衬底上，然后将涂有光刻胶的柔性衬底与平板模具压印，随后进行紫外曝光，曝光后分离所述的柔性衬底和平板模具，完成一个压印周期；

重复所述的步骤二，使所述柔性衬底上获得若干个所述纳米图形单元形成的纳米图形阵列。