[发明专利]多孔氮化硅基封孔涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201510225006.3 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN106191770B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 曾志翔;刘二勇;周军;范锦鹏;乌学东;曹慧军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;航天材料及工艺研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多孔 氮化 硅基封孔 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【说明书】：
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