[发明专利]一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法

权利要求书

1.一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，包括盛放酸性药液的药液槽（1），与药液槽连通且用于抽取药液槽中药液的循环泵（6），循环泵（6）的输出端与用于监控药液中金属离子浓度的金属离子浓度感应器（3）连通，金属离子浓度感应器（3）的输出端分别与药液监控系统（5）和离子交换系统（2）连通，离子交换系统（2）的输出端与药液监控系统（5）连通，药液监控系统的输出端与药液槽（1）连通；在金属离子浓度感应器（3）的输出端与离子交换系统（2）之间设有第一自动阀门开关（4）；在金属离子浓度感应器（3）的输出端与药液监控系统（5）之间设有第二自动阀门开关（8）；药液监控系统的输出端与药液槽（1）之间设有手动阀门开关（7）；所述的药液监控系统（5）内设有PPC，PPC与金属离子浓度感应器（3）、第一自动阀门开关（4）、第二自动阀门开关（8）连接，其特征在于，具体步骤如下：

S1.在药液槽（1）中注入酸性药液，在离子交换系统（2）中注入阳离子树脂；

S2.在药液监控系统（5）中的PPC设定金属离子的最高浓度值为N1;

S3. 打开手动阀门开关（7）；药液流向药液监控系统（5），通过补药液或更换药液流回药液槽（1）；

S4.监控系统中的PPC控制第一自动阀门开关（4）闭合、第二自动阀门开关（8）打开；

S5.不断的抽取药液槽中的酸性药液与金属反应，反应后产生金属离子，且反应后的药液重新回流至药液槽（1）内；同时，循环泵（6）和药液监控系统（5）工作，药液监控系统实时监控和管理药液的浓度；

S6.被循环泵（6）抽取的药液经过金属离子浓度感应器（3），金属离子浓度感应器（3）实时检测流过的药液的金属离子的浓度，记录检测的实时金属离子的浓度值N2并数据发送至药液监控系统中的PPC内；

S7.药液监控系统中的PPC接收到金属离子的浓度值为N2的数据后，药液监控系统中的PPC根据其预先设定金属离子的最高浓度值为N1和实时检测的金属离子的浓度值N2的大小进行比较；若金属离子的最高浓度值为N1小于实时检测的金属离子的浓度值N2时，执行下一步；否则，返回步骤S5；

S8. 监控系统中的PPC控制第一自动阀门开关（4）打开、第二自动阀门开关（8）闭合，此时，药液槽中的药液流入离子交换系统（2）内，药液中金属离子与阳离子树脂中的氢离子进行离子交换，置换出阳离子树脂中的氢离子；药液中的金属离子从药液中分离出来，氢离子重新补充在药液中，电荷恢复平衡，药液从离子交换系统（2）中流出来；

S9.执行步骤S5；

S10. 药液监控系统中的PPC接收到金属离子的浓度值为N2的数据后，药液监控系统中的PPC根据药液监控系统（5）中设定金属离子的最高浓度值为N1和实时检测的金属离子的浓度值N2的大小进行比较；若设定金属离子的最高浓度值为N1大于实时检测的金属离子的浓度值N2时，执行下一步；否则，执行步骤S8；

S11. 返回步骤S4；

S12.重复步骤S4至步骤S9，直至药液槽中的酸性药液被消耗;

所述的金属为金属铝或金属钼。

2.根据权利要求1所述的延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，其特征在于，步骤S1中的酸性药液为硝酸、醋酸、磷酸和去离子水的混合溶液。

3.根据权利要求1所述的延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，其特征在于，步骤S1中的阳离子树脂为弱酸性阳离子树脂。

4.根据权利要求1所述的延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，其特征在于，步骤S2中的金属离子最高浓度值N1为500ppm。

5.根据权利要求1所述的延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，其特征在于，步骤S8中进行离子交换的反应式为:。