[发明专利]一种原子级真空气态3D打印系统有效

专利信息
申请号: 201510227075.8 申请日: 2015-05-06
公开(公告)号: CN104962863B 公开(公告)日: 2018-05-25
发明(设计)人: 史继富;徐刚;朱艳青;李育坚 申请(专利权)人: 中国科学院广州能源研究所
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;B33Y30/00
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 黄培智;莫瑶江
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 箱体模块 打印台 可升降 原子级 机械运动机构 打印 方向控制阀 打印系统 快速成型 气态原子 真空装置 激发材料 控制模块 模型驱动 气态材料 微光机电 细微结构 致密性好 轴线移动 成型品 打印头 纳米级 能量源 微米级 可用 微电子 成型 垂直 行进 承载 激发
【说明书】:

发明提供了一种原子级真空气态3D打印系统,包括真空装置、方向控制阀、箱体模块,所述真空装置内设有材料靶和用于激发材料靶的气态原子的能量源,激发的气态原子经由用于控制其行进方向的方向控制阀,输送到位于所述箱体模块内的气态打印头上,该箱体模块内设有用于承载成型打印物体的可升降打印台、机械运动机构,还包括用于根据3D打印模型驱动所述机械运动机构,使所述可升降打印台沿垂直于台面的轴线移动、使所述气态打印头保持在可升降打印台的台面上的控制模块。其结构简单合理,实现原子级气态材料的层叠快速成型,成型品的精度高、表面光滑、致密性好,可用于微光机电、微电子和微生物工程等领域,实现一般纳米级或微米级尺寸细微结构的快速成型。

技术领域

本发明涉及3D打印设备领域,特别是涉及一种原子级真空气态3D打印系统。

背景技术

3D打印,又称增材制造,其基本原理和过程是:把一个通过设计或扫描等方式做好的3D模型,按照某一坐标轴切成无限多个刨面,然后一层一层打印出来并按照原来的位置堆积到一起,形成一个实体的立体模型;具体使用的成型方式有很多种,主要包括熔融沉积快速成型、选择性激光烧结、光固化成型、叠层实体制造等技术,这些主要是通过固体熔融、固体烧结、液态固化、固体激光切割等固体或液体的形式进行快速成型的技术,存在成型精度低、表面粗糙度、致密性差等缺点。

另外,现有的3D打印技术只能用于比较宏观物品的快速成型,对于微光机电、微电子和微生物工程等领域,制作一般纳米级或微米级尺寸的细微结构,传统的3D打印技术无法满足这一领域的要求。尤其在近年来,微光机电、微电子、微生物工程领域的快速发展,使得微机械结构的制造成为具有极大研究价值和经济价值的热点,因此研究微结构的3D打印技术具有很重要的价值。

发明内容

针对现有技术存在的问题,本发明提出了一种原子级真空气态3D打印系统,用于实现方向性好、精度高、表面光滑、致密性良好的微尺度的快速成型。

为了解决上述技术问题,本发明的技术方案如下:

一种原子级真空气态3D打印系统,包括真空装置、方向控制阀、箱体模块,所述真空装置内设有材料靶和用于激发材料靶的气态原子的能量源,激发的气态原子经由用于控制其行进方向的方向控制阀,输送到位于所述箱体模块内的气态打印头上,该箱体模块内设有用于承载成型打印物体的可升降打印台、机械运动机构,还包括用于根据3D打印模型驱动所述机械运动机构,使所述可升降打印台沿垂直于台面的轴线移动、使所述气态打印头保持在可升降打印台的台面上的控制模块。

本发明的进一步改进有:

所述方向控制阀置于真空装置和箱体模块的气态原子通道上。

所述的能量源为热源、电子束或者离子源。

所述的材料靶为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材中的一种或其组合。

本发明在真空条件下,由能量源激发材料靶使得材料变成原子级气态材料,并通过方向控制阀控制气态原子的方向,进行定向打印,实现原子级气态材料的层叠快速成型,成型品的精度高、表面光滑、致密性好,可以用于微光机电、微电子和微生物工程等领域,实现一般纳米级或微米级尺寸细微结构的快速成型。

本发明的优点在于:

1、方向性好,打印精度高、致密性好,属于原子级气态的定向层层叠加,表面粗糙度低且成型品的物理性能良好;

2、可以实现纳米级或微米级尺寸细微结构的快速成型,适用于微光机电、微电子和微生物工程等领域;

3、可打印的材料种类广泛,如金属、陶瓷、合金等多种材料。

附图说明

图1是本发明的结构示意图;

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