[发明专利]一种高精度非接触式三维微小力发生装置

权利要求书

1.一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：包括：

非接触式微力发生器，用于在外加电压的作用下产生微小静电力；

方向调节杆(6)和旋转平台(7)，用于调整非接触式微力发生器在三维空间中的方向；

固定底座(1)，用于固定旋转平台(7)；

所述旋转平台(7)安装在固定底座(1)上，所述方向调节杆(6)与旋转平台(7)铰接，所述非接触式微力发生器安装在方向调节杆(6)上；所述非接触式微力发生器为叉指微力发生器，所述叉指微力发生器的上下极板间的结构为叉指状结构，所述叉指微力发生器的上下极板分别与外部的正负电极(V+和V-)连接，所述叉指微力发生器的下极板安装在方向调节杆(6)上。

2.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：在所述叉指微力发生器的下极板与方向调节杆(6)之间还设有位置调节装置，所述位置调节装置用于从X、Y和Z三个方向对叉指微力发生器相邻两叉指间的位置和距离进行精确调节。

3.根据权利要求2所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述位置调节装置包括X方向位置调节装置(31)、Y方向位置调节装置(32)和Z方向位置调节装置(33)。

4.根据权利要求2所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述叉指微力发生器的上极板上方还设有用于连接被测装置的连接板(4)。

5.根据权利要求4所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：在所述连接板(4)与叉指微力发生器的上极板之间以及所述叉指微力发生器的下极板与位置调节装置之间均设有绝缘层(5)。

6.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：还包括定位螺栓(2)，所述旋转平台(7)通过定位螺栓(2)固定在固定底座(1)上。

7.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：还包括用于固定方向调节杆(6)方向的固定螺栓(20)。

8.根据权利要求1所述的一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：所述方向调节杆(6)与旋转平台(7)的铰接方式为球形铰接。