[发明专利]一种快速扫描原子力显微检测方法及系统

权利要求书

1.一种快速扫描原子力显微检测系统，其特征在于包括快速扫描原子力显微检测主体探头（1）、光电流/电压转换放大器（2）、Z向负反馈控制模块（3）、X方向快速扫描控制模块（4）、Y方向快速扫描控制模块（5）、计算机（6）；光电流/电压转换放大器（2）、Z向负反馈控制模块（3）、X方向快速扫描控制模块（4）、Y方向快速扫描控制模块（5）分别与快速扫描原子力显微检测主体探头（1）、计算机（6）连接；所述的快速扫描原子力显微检测主体探头（1）包括微探针（7）、X方向快速片状扫描器（8）、样品（9）、Z向反馈控制器（10）、凹形块（11）、Y方向快速扫描器（12）、基块（13）、激光器（14）、第一楔形反射镜（15）、集束透镜（16）、第二楔形反射镜（17）、光电偏转探测器（18）、横架（19）、升降主块（20）、导轨（21）、调节机构（22）、立块（23）、底座（24）；微探针（7）安装在X方向快速片状扫描器（8）外端，后者左端固定在升降主块（20）上；样品（9）安装在Z向反馈控制器（10）上，后者下沉式安装在凹形块（11）上；凹形块（11）两侧与Y方向快速扫描器（12）固定，后者另两端固定在基块（13）上；基块（13）安装在底座（24）上；激光器（14）、第一楔形反射镜（15）、集束透镜（16）均固定在横架（19）上；第二楔形块（17）、光电偏转探测器（18）、横架（19）安装在升降主块（20）上；升降主块（20）通过导轨（21）安装在立块（23）上，通过调节机构（22）使升降主块（20）微调升降；立块（23）安装在底座（24）上。

2.一种基于权利要求1所述检测系统的快速扫描原子力显微检测方法，其特征在于采用在X方向独立地快速扫描微探针、在Y方向独立地快速扫描样品并且使Z向负反馈与Y方向扫描正交独立的方法，实现原子力显微检测系统对微纳米样品的快速扫描及快速显微检测成像；利用X方向快速片状扫描器，独立地实现微探针在X方向的快速扫描；同时，利用Y方向快速扫描器，独立地实现样品的Y方向快速扫描；此外，X、Y、Z方向的扫描及反馈彼此分离独立或正交独立。