[发明专利]一种涂布机有效
申请号: | 201510230284.8 | 申请日: | 2015-05-07 |
公开(公告)号: | CN104808446B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 李坤;张磊;罗祝义;胡瑾;张畅;吴斌 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G02F1/133 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 李桦 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 涂布机 | ||
1.一种涂布机,用于涂布涂布剂,其特征在于,包括移动件、喷嘴和泵,所述喷嘴为多个,多个所述喷嘴沿所述移动件的长度方向依次设置,所述泵用于向多个所述喷嘴内泵入涂布剂,所述移动件可带动多个所述喷嘴移动,随着多个所述喷嘴的移动,多个所述喷嘴可同时将所述涂布剂涂布于基板上,从而缩短喷嘴长度使单个喷嘴内的涂布剂分布均匀,进而提高涂布均一性或者在喷嘴损坏等方便更换或维修;
所述移动件上设有多个过孔,每个所述过孔内均设有一个螺栓,多个所述喷嘴上均设有螺纹孔,多个所述螺栓分别穿过相应的过孔和多个所述喷嘴上的螺纹孔配合连接。
2.根据权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述泵为多个,多个所述泵和多个所述喷嘴一一对应连通。
3.根据权利要求2所述的涂布机,其特征在于,还包括储料容器和分流阀,所述分流阀的入口和所述储料容器连通,所述分流阀的多个出口分别和多个所述泵的入口一一对应连通。
4.根据权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述过孔为长孔,所述长孔的长度方向平行于所述移动件的长度方向。
5.根据权利要求4所述的涂布机,其特征在于,多个所述长孔沿所述移动件的移动方向排列为两排,多个所述喷嘴上的螺纹孔与所述长孔一一对应,多个所述螺栓穿过两排所述长孔和多个喷嘴上相应的螺纹孔配合连接。
6.根据权利要求1所述的涂布机,其特征在于,多个所述喷嘴与所述移动件长度方向平行的侧面均设有一个入口,每个所述入口均和所述泵的出口连通。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的涂布机,其特征在于,所述泵为PT泵。
8.根据权利要求1~6中任一项所述的涂布机,其特征在于,所述喷嘴包括喷嘴头,所述喷嘴头的材料为超硬合金。
9.根据权利要求1所述的涂布机,其特征在于,所述涂布剂为光刻胶。
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