[发明专利]复合靶气相沉淀制备晶界扩散稀土永磁材料的方法

权利要求书

1.一种复合靶气相沉淀制备晶界扩散稀土永磁材料的方法，其特征在于，包括如下操作步骤：

步骤一，复合靶材的制备，所述复合靶材具有如下化学式H_100-x-yM_xQ_y，其中，H为Dy或/和Tb，M为Nd或/和Pr，Q为Cu、Al、Zn和Sn中的一种或多种，x、y为所述复合靶材中各成分的原子百分含量，x＝0-5、y＝1-10；所述复合靶材的尺寸为：厚度为0.5-3mm、长度为180-300mm和宽度为100-240mm；

步骤二，将烧结NdFeB磁体加工成规定形状和尺寸，随后进行表面清理及干燥，从而得到待处理NdFeB磁体；

步骤三，将所述复合靶材和所述待处理NdFeB磁体依次交替叠置于处理设备中，且最上层和最底层均为所述复合靶材，以所述复合靶材作为蒸发源，在规定条件下使所述待处理NdFeB磁体表面包覆金属膜并发生晶界扩散，之后随炉冷却，从而得到扩散后的NdFeB磁体；所述规定条件如下：保温温度为650-750℃，保温时间为20-50h；

步骤四，将所述扩散后的NdFeB磁体进行回火处理，使晶界相均匀包裹在主相粒子外，从而得到性能提高的磁体。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述复合靶材为Tb₉₅Cu₅、Tb₉₈Al₂或Tb_95.9Dy_0.4Nd_0.7Zn₂Sn₁。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤一中，所述复合靶材是通过如下方法制备的：按照所述复合靶材各成分的原子百分含量称取相应原料，依次经冶炼、浇铸、锻造、热轧、冷轧以及机械加工，形成规定尺寸的复合靶材。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述冶炼采用真空中频感应炉冶炼，真空度不高于10^-2Pa。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤二中，所述表面清理的过程如下：首先将所述NdFeB磁体放入除油槽中浸泡10-15min以去除磁体表面的油污，然后依次经第一次水洗、酸洗、第二次水洗及超声波处理，最后风干所述NdFeB磁体表面。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述酸洗的时间为20-45s，所述超声波处理的时间为20-45s。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待处理NdFeB磁体的取向方向控制在1-8mm厚度。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤三中，一块所述待处理NdFeB磁体夹置于两块所述复合靶材之间，且所述复合靶材的表面积大于所述待处理NdFeB磁体的表面积。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤三中，所述规定条件的真空度为不大于10^-3Pa；所述随炉冷却至不高于50℃。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步骤四中，所述回火处理条件为：回火温度为420-640℃，回火时间为2-10h，之后采用自然冷却的方式冷却至室温。