[发明专利]铜铟镓硒靶材金属化层制备方法在审
| 申请号： | 201510232814.2 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN106180721A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 吕宏;谢元锋;夏扬 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜铟镓硒靶材 金属化 制备 方法 | ||
【说明书】：
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