[发明专利]溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法

权利要求书

1.溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法,其特征在于，把管靶（3）放置在支撑辊对（5）上； 把红外线探头（9）放入管靶（3）内中间位置，打开电源开关，数显表(2)显示的数值为红外线探头(9)到管靶(3)内壁的距离；固定红外线探头(9)，转动管靶(3)，根据数显表(2)上的数值变化来计算管靶（3）的轴向直线度；取最大值Max和最小值Min的差，作为判断依据；若Max-Min>0.5mm，则判断管靶（3）需要矫直；矫直方法，把管靶（3）两端支起，将压辊（10）下移压管靶（3）需要矫直部位的轴向中间点上侧外壁，控制下压量，当再测得Max-Min≤0.5mm时，矫直完成；检验和矫直装置包括机架(1)、数显表(2)、支撑辊对(5)、轴芯杆(7)、红外线探头(9)、压辊(10)和液压臂(11)；机架(1)下部安装支撑辊对(5)，该支撑辊对(5)由二个相互平行且水平安置的刚性转辊构成，机架(1)外侧上安装数显表(2)，机架(1)内中部安装轴芯杆(7)，轴芯杆(7)上安装红外线探头(9)，机架(1)内侧支撑辊对（5）中部上方安装压辊(10)，压辊(10)上侧通过液压臂(11)连接；轴芯杆(7)端部连接端架(4)，该端架(4)的端部安装在机架(1)上；轴芯杆(7)通过弹性撑臂(6)向外侧辐射地连接内撑轮(8)；轴芯杆(7)中空而且两端外套装内撑轮(8)；红外线探头(9)和压辊(10)沿轴芯杆(7)轴向移动；至少二组红外线探头(9)和压辊(10)沿轴芯杆(7)轴向均匀分布。