[发明专利]磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁圆柱形低频振动校准台

权利要求书

1.一种磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁圆柱形低频振动校准台，由基座(16)、电磁驱动结构(13)、静压气浮导轨(14)和工作台(15)构成，电磁驱动结构(13)和静压气浮导轨(14)以轴线平行的方式安装在基座(16)上，工作台(15)安装在静压气浮导轨(14)中滑套(24)的上表面，其特征在于：所述基座(16)由底板(17)和支撑件(21)构成，两个支撑件(21)对称安装在底板(17)的两端，电磁驱动结构(13)的两端与两个支撑件(21)刚性连接，静压气浮导轨(14)通过两个支撑件(21)以两端支撑的方式固定；静压气浮导轨(14)由导轨(23)、滑套(24)和滑套连接件(25)构成，滑套(24)可滑动地套装在导轨(23)上且与导轨(23)通过静压气浮作用相互润滑与支撑，滑套(24)通过滑套连接件(25)与电磁驱动结构(13)中线圈骨架(6)的翅板(19)刚性连接；电磁驱动结构(13)由圆柱形的永磁体(1)、中心磁轭(2)、端磁轭(5)和圆筒形的长筒形磁轭(3)、短筒形磁轭(4)、线圈骨架(6)构成，整体成轴对称结构，永磁体(1)、中心磁轭(2)、端磁轭(5)、长筒形磁轭(3)、短筒形磁轭(4)、线圈骨架(6)的轴线在一条直线上，两个永磁体(1)对称安装在中心磁轭(2)两端和两个端磁轭(5)之间、且同磁极相对布置，每个永磁体(1)的两个端面分别与中心磁轭(2)、端磁轭(5)相应的端面紧密接触，两个短筒形磁轭(4)的内径与长筒形磁轭(3)的外径相等，两个短筒形磁轭(4)的一端分别与两个端磁轭(5)刚性连接、另一端对称套装在长筒形磁轭(3)的两端并与长筒形磁轭(3)刚性连接，长筒形磁轭(3)同轴套装在中心磁轭(2)上、且与中心磁轭(2)之间通过气隙(7)分隔开，线圈骨架(6)可滑动地套装在中心磁轭(2)上而位于气隙(7)中，线圈骨架(6)上绕有工作线圈(8)，工作线圈(8)中通以精密可控的驱动电流，长筒形磁轭(3)的侧壁沿长度方向设有剖缝(20)，线圈骨架(6)的两端设有翅板(19)，翅板(19)从剖缝(20)中伸出，长筒形磁轭(3)的内圆柱面设有深沟槽(18)形式的阵列式微结构，深沟槽(18)沿气隙(7)的长度方向周期性布置，中心磁轭(2)上绕有补偿线圈(27)，补偿线圈(27)中所通的电流与工作线圈(8)中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一确定比例。

2.根据权利要求1所述的磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁圆柱形低频振动校准台，其特征在于：所述永磁体(1)的安装方式是采用两个圆筒形、不导磁材料的永磁体安装套(9)，将永磁体(1)以粘接方式同轴装配在永磁体安装套(9)内部，通过固定永磁体安装套(9)将永磁体(1)固定；所述中心磁轭(2)的安装方式是采用两个圆筒形、不导磁材料的磁轭安装套(10)，将两个磁轭安装套(10)套装在中心磁轭(2)的两端且与中心磁轭(2)刚性连接，通过固定磁轭安装套(10)将中心磁轭(2)以两端支撑的方式固定。

3.根据权利要求1或2所述的磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁圆柱形低频振动校准台，其特征在于：所述剖缝(20)的数目为2条，且在长筒形磁轭(3)的侧壁上对径分布。

4.根据权利要求1或2所述的磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁圆柱形低频振动校准台，其特征在于：所述永磁体(1)是采用多个小块永磁体、以粘接的方式拼接构成。