[发明专利]一种抛光液及抛光方法

权利要求书

1.一种抛光液，其特征在于：由氟盐、氢氟酸、无机强酸和添加剂组成，所述的氟盐为氟化铵、氟化氢铵中的一种或两种，所述的无机强酸为盐酸、硝酸、硫酸中的至少一种，所述的添加剂由丙三醇、乙二醇和十六烷基三甲基氯化铵混合而成。

2.根据权利要求1所述的一种抛光液，其特征在于，各组份的质量比为氟化氢铵：氢氟酸：盐酸：硝酸：丙三醇：乙二醇：十六烷基三甲基氯化铵＝26～29：24～28：9～10：4～5：20～22：8～10：0.1～0.5。

3.根据权利要求2所述的一种抛光液，其特征在于，各组份的质量比为氟化氢铵：氢氟酸：盐酸：硝酸：丙三醇：乙二醇：十六烷基三甲基氯化铵＝28：26：10：4：22：10：0.1。

4.根据权利要求1所述的一种抛光液，其特征在于，各组份的质量比为氟化铵：氢氟酸：盐酸：硝酸：丙三醇：乙二醇：十六烷基三甲基氯化铵＝32～35：24～26：9～10：4～5：18～20：6～8：0.1～0.5。

5.一种如权利要求1或2或3或4所述抛光液的制配方法，其特征在于，包括下述步骤：

a）、按如上质量比准备各原料；

b）、按配方用天平称取固体物质氟化氢铵或氟化铵，以及十六烷基三甲基氯化铵；

c）、用量筒量取氢氟酸、盐酸、硝酸、丙三醇、乙二醇，全部倒入聚四氟乙烯槽中混合；

d）、将b）步骤的固体混合物全部缓慢加入c）步骤的混合溶液中，在加入过程中充分搅拌，形成透明的化学抛光液。

6.一种如权利要求1所述抛光液的应用，其特征在于，按照下述步骤抛光主要组成为Li-Al-Si的微晶玻璃零件：

（1），根据零件的形状，选择合适的工装，对零件先用航空汽油浸泡超声15分钟，然后用碱性清洗液浸泡5分钟，然后用30%硝酸溶液浸泡超声15分钟，最后用纯水淋洗干净；

（2），用3M膜护住微晶玻璃零件不需要抛光的部位；

（3），抛光溶液加热到70±2℃并稳定后，对微晶玻璃零件进行抛光作业；

（4），抛光完成后，进行彻底的中和清洗，防止腐蚀盐残留。

7.根据权利要求6所述的抛光液的应用，其特征在于：步骤（3）的具体内容为：将装有抛光液的聚四氟乙烯槽加盖后放在水浴缸中加热，待抛光液温度达到70℃±2℃并稳定下来后放入用工装固定的微晶玻璃零件，每隔2-3分钟，转动固定微晶玻璃零件的化学抛光工装5次。

8.根据权利要求6所述的抛光液的应用，其特征在于：步骤（4）的具体内容为：中和液中用裹了脱脂棉的不锈钢管捅洗零件所有内孔，再放在15MΩ超纯水的水龙头下冲洗干净。

9.根据权利要求6所述的抛光液的应用，其特征在于：所述步骤（4）中的中和液通过用量筒量取900ml超纯水倒入聚四氟乙烯大烧杯中，再加入碳酸氢铵100g，充分搅拌得到。