[发明专利]用于光致细胞脱附的TiO2/SiO2复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.用于光致细胞脱附的TiO₂/SiO₂复合薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

1)将TEOS、THF按体积比1:5～1:10混合并搅拌均匀，配成A溶液；将A溶液与HNO₃按体积比6:0.1～6:0.3混合并搅拌均匀，配成B溶液；将C₂H₅OH和H₂O按体积比1:5充分混合，配成C溶液；搅拌条件下，将C溶液以1～2s/滴的速度滴加到B溶液中，之后搅拌1～2h，避光密封陈化2～3天，得到SiO₂溶胶；

2)将TiO₂水溶胶与THF按体积比1:3～1:8混合并搅拌均匀，超声0.5～1h，得到TiO₂溶胶；

3)将步骤1)的SiO₂溶胶滴加至洁净的基板上，以6000-8000r/min的转速旋涂，获得SiO₂膜，成膜后2s内再在SiO₂膜上滴加TiO₂溶胶，再以6000-8000r/min的转速旋涂，两次旋涂总时间为30～40s，将样品在55℃～70℃保温8～16h，获得用于光致细胞脱附的TiO₂/SiO₂复合薄膜；或者；将步骤1)的SiO₂溶胶与步骤2)的TiO₂溶胶按摩尔比1:5～8:5混合，搅拌均匀，超声0.5～1h，获得混合溶胶，将混合溶胶滴加至洁净的基板上，以4000-6000r/min的转速旋涂30～40s，然后将样品在55℃～70℃保温8～16h，获得用于光致细胞脱附的TiO₂/SiO₂复合薄膜；

所述的基板均为PS、PP、PET、PE或者PMMA。