[发明专利]定位装置以及处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及将板状的处理对象物定位在预定位置的定位装置，以及对通过该定位装置进行了定位的处理对象物进行预定处理的处理装置。

背景技术

以往，已知有将板状的被检查体载置于面板承受面，通过在该状态下利用推压构件推压被检查体的端部来进行被检查体的定位的试验装置(例如，参照专利文献1)。通过专利文献1中记载的试验装置，能够在将被检查体定位在面板承受面的预定位置的状态下，对被检查体的上表面进行试验。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开第2011-85574号公报

发明内容

技术问题

然而，在上述的技术中，推压被检查体的端部的推压构件从被检查体的上表面向上突出。因此，用于对被检查体的上表面进行试验的探头单元可能与推压构件之间产生干扰。

本发明的目的在于，提供一种将载置于载置台的板状的处理对象物定位在载置台上的预定位置，并能够降低与对处理对象物进行预定处理的处理机构之间产生干扰的可能性的定位装置，以及对通过该定位装置进行了定位的处理对象物进行预定处理的处理装置。

技术方案

本发明的定位装置是将板状的处理对象物定位在预定位置的定位装置，其具有：载置台，具有载置有上述处理对象物的上表面；第一抵接构件，能够抵接到载置于上述上表面的上述处理对象物的第一边；驱动部，进行通过利用上述第一抵接构件推压上述第一边来定位上述处理对象物的定位动作、以及使上述第一抵接构件从上述第一边分离并使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方的退避动作。

根据该构成，板状的处理对象物的第一边被第一抵接构件推压而定位在载置台。进一步地，使第一抵接构件从处理对象物的第一边分离，并且使第一抵接构件退避到载置台的上表面下方。其结果，使为了定位处理对象物而抵接到处理对象物的第一边的第一抵接构件退避到下方，不使第一抵接构件在处理对象物的上方突出，因此能够降低与对载置于载置台上的处理对象物进行预定处理的处理机构之间进行干扰的可能性。

另外，优选上述驱动部在上述定位动作中，使上述第一抵接构件向上述第一边靠近的同时上升，在使上述第一抵接构件的至少一部分位于上述上表面上方的状态下，使上述至少一部分抵接到上述第一边；在上述退避动作中，通过使上述第一抵接构件从上述第一边分离的同时下降，使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方。

根据该构成，在定位处理对象物时，可以同时进行使第一抵接构件上升到载置有处理对象物的高度的动作、以及使第一抵接构件为了抵接而向处理对象物的第一边靠近的动作，因此能够缩短处理对象物的定位所花费的时间。另外，可以同时进行为了避免第一抵接构件的干扰而使第一抵接构件下降到处理对象物下方的动作、以及使第一抵接构件从处理对象物分离的动作，因此能够缩短第一抵接构件的退避所花费的时间。

另外，优选上述驱动部在上述定位动作中，使上述第一抵接构件向上述第一边靠近的同时上升，在使上述第一抵接构件的至少一部分位于上述上表面上方的状态下，使上述第一抵接构件大致水平地向上述第一边移动而使上述至少一部分抵接到上述第一边；在上述退避动作中，通过使上述第一抵接构件从上述第一边大致水平地分离后进一步分离的同时下降，使上述第一抵接构件退避到上述上表面下方。

根据该构成，在定位动作中，第一抵接构件大致水平地移动的同时抵接到第一边而对第一边进行推压，因此能够在对处理对象物不施加上下方向的压力的情况下大致水平地推压而定位处理对象物。另外，在退避动作中，第一抵接构件从第一边大致水平地分离后，进一步在分离的同时下降，因此第一抵接构件从第一边在大致水平方向上分离之后下降，结果，能够在相对于处理对象物不施加上下方向的压力的情况下使第一抵接构件退避。

另外，优选上述第一抵接构件沿上下方向延伸并具有能够抵接到上述第一边的抵接面，在上述定位动作中，当上述第一抵接构件上升结束后，上述上表面的高度位于上述抵接面的上端与下端之间。

通过该构成，在定位动作中，当第一抵接构件上升结束后，上表面的高度位于抵接面的上端与下端之间，因此如果为了定位处理对象物而通过第一抵接构件推压第一边，则抵接面的下侧的一部分与载置台干扰而第一抵接构件停止，其结果为，能够使处理对象物的第一边以与载置台的端部整体一致的方式被定位。