[发明专利]井下石英谐振式压力传感器

权利要求书

1.一种井下石英谐振式压力传感器，包括筒状的壳体、设置在所述壳体中的石英晶体谐振器以及支架，所述石英晶体谐振器嵌设于所述支架中，所述支架固定安装在所述壳体中；

所述壳体的一端中心部位预设有螺钉穿孔，所述螺钉穿孔中螺纹连接的插设有一用于调节预紧力的微调螺钉，所述微调螺钉与所述螺钉穿孔之间密封连接，其特征在于：所述壳体的另一端开设有压力检测窗，所述压力检测窗中密封的安装有弹性金属膜片，所述弹性金属膜片上对应于所述壳体中一侧的中心部位设有一凸柱；

所述石英晶体谐振器为具有五次泛音厚度切变振动模式的呈开口圆环片状4.992MHz石英晶体谐振器，所述石英晶体谐振器的切型为AT 切型，所述石英晶体谐振器上焊接有一对电极引出端，所述一对电极引出端密封的穿过所述壳体上开设所述螺钉穿孔一端的侧壁；

所述支架上分别对应所述微调螺钉及凸柱的两侧均开设有插孔，所述微调螺钉与凸柱上相互对应的一端均分别穿过所述插孔插入所述支架中，所述呈开口圆环片状的石英晶体谐振器的力敏点位于外圆环面上，且所述石英晶体谐振器的力敏点分别与所述微调螺钉以及凸柱上相互对应的端面接触。

2.根据权利要求 1 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述壳体上开设所述螺钉穿孔一端的侧壁中密封的插设有一真空导管，所述真空导管对应在所述壳体外的一端密封，所述壳体中的真空度为 6×10 -1 Pa。

3.根据权利要求 2 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述支架中对应所述呈开口圆环片状的石英晶体谐振器的轴向一端凸设有两个卡键，所述两个卡键分别抵卡在所述呈开口圆环片状的石英晶体谐振器的轴向一端的端面两侧，且所述两个卡键

分别对应所述壳体的径向方向，所述支架中对应所述呈开口圆环片状的石英晶体谐振器的轴向另一端设置有一环形垫片，所述石英晶体谐振器嵌设在所述两个卡键与所述环形垫片之间。

4.根据权利要求 3 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述呈开口圆环片状的石英晶体谐振器上分别与所述微调螺钉以及凸柱接触的部位设有受力平面。

5.根据权利要求 4 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述呈开口

圆环片状的石英晶体谐振器的外表面上镀有黄金膜。

6.根据权利要求 5 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述螺钉穿孔的孔肩上开设有沉孔，所述微调螺钉的钉头沉入所述沉孔中，所述钉头的外轴面上开设有环状嵌槽，所述环状嵌槽中嵌设有O型密封圈，所述O型密封圈密封垫设于所述钉头的外轴面与所述沉孔的内孔壁之间。

7.根据权利要求 6 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述弹性金属膜片的外边缘密封的焊接在所述壳体的压力检测窗中，所述弹性金属膜片上对应所述壳体外的一侧开设有环状沟槽。

8.根据权利要求 7 所述的一种井下石英谐振式压力传感器，其特征在于：所述壳体呈圆筒状，所述壳体上位于两端的外轴面上分别设置有外螺纹段。