[发明专利]一种光致伸缩复合膜及其制作的光驱动器

权利要求书

1.一种光致伸缩复合膜，其特征在于：包括：

一衬底层；

一底电极层，生长在衬底层上；

一压电材料层，沉积在底电极层上；

一中间电极层，沉积在压电材料层上；

一光伏材料层，沉积在中间电极层上，所述光伏材料层选用Pb_1-xLa_xZr_1-yTi_yO₃，钛酸钡(BaTiO₃)、铁酸铋(BiFeO₃)铁电材料中的一种制成，其中，0<x<1，0<y<1；

一顶电极层，沉积在光伏材料层上，选用透光的导电材料制成。

2.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述衬底层选用SrTiO₃基片、硅基片、铂基片其中一种。

3.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述底电极层和中间电极层选用SrRuO₃、钙钛矿型LaNiO₃其中一种制成；所述顶电极层选用铟锡氧化物(ITO)、锡氟氧化物(FTO)、锌铝氧化物(AZO)中的一种制成。

4.根据权利要求1所述的一种光致伸缩复合膜，其特征在于：所述压电材料层选用Pb(Zr_xTi_1-x)O₃、钛酸铅(PbTiO₃)、钛酸钡(BaTiO₃)其中一种制成，其中，0＜x＜1。

5.基于权利要求1所述的光致伸缩复合膜制作的光驱动器，其特征在于：包括：

一衬底层；

一底电极，生长在衬底层上；

一压电材料层，沉积在底电极上；

一中间电极层，沉积在压电材料层上；

一光伏材料层，沉积在中间电极层上，所述光伏材料层选用Pb_1-xLa_xZr_1-yTi_yO₃，钛酸钡(BaTiO₃)、铁酸铋(BiFeO₃)铁电材料中的一种制成，其中，0<x<1，0<y<1；

一顶电极层，沉积在光伏材料层上，选用透光的导电材料制成；

所述底电极的一端向上延伸分别与压电材料层、光伏材料层和顶电极层连接；所述光伏材料层与底电极层连接的一端向下延伸至压电材料层表面，用于将中间电极层与底电极层隔开。

6.根据权利要求5所述的光驱动器，其特征在于：所述衬底层选用SrTiO₃基片、硅基片、铂基片其中一种。

7.根据权利要求5所述的光驱动器，其特征在于：所述底电极和中间电极层选用SrRuO₃、钙钛矿型LaNiO₃其中一种制成；所述顶电极层选用铟锡氧化物(ITO)、锡氟氧化物(FTO)、锌铝氧化物(AZO)中的一种制成。

8.根据权利要求5所述的光驱动器，其特征在于：所述压电材料层选用Pb(Zr_xTi_1-x)O₃、钛酸铅(PbTiO₃)、钛酸钡(BaTiO₃)其中一种制成，其中，0＜x＜1。