[发明专利]一种腐蚀箔清洗方法、腐蚀箔清洗装置有效

专利信息
申请号: 201510246564.8 申请日: 2015-05-14
公开(公告)号: CN104789976B 公开(公告)日: 2017-03-29
发明(设计)人: 徐建华 申请(专利权)人: 吴江飞乐天和电子材料有限公司
主分类号: C23G3/00 分类号: C23G3/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 代理人: 汤东凤
地址: 215236 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 腐蚀 清洗 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种腐蚀箔清洗方法,其特征在于:其包括以下步骤:

腐蚀箔在进入清洗液一内时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

2.根据权利要求1所述的腐蚀箔清洗方法,其特征在于:

所述腐蚀箔在进入所述清洗液一内时,在所述腐蚀箔的一侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔的相对另一侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

3.根据权利要求1所述的腐蚀箔清洗方法,其特征在于:

所述腐蚀箔在进入所述清洗液一内时,在所述腐蚀箔的相对两侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔的相对两侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的腐蚀箔清洗方法,其特征在于:所述角度一与所述角度二均采用角度范围:30°—60°。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的腐蚀箔清洗方法,其特征在于:所述激荡波距离所述清洗液一的液面的高度为1.5cm—2.5cm。

6.一种腐蚀箔清洗装置,其包括若干上滚筒、至少一个下滚筒、盛有清洗液一的清洗槽;腐蚀箔通过所述若干上滚筒的传动,并配合所述至少一个下滚筒的传动,而伸入所述清洗槽的清洗液一中,且在所述清洗液一中运行后离开所述清洗槽;其特征在于:所述腐蚀箔清洗装置还包括:

喷淋管组一,其用于所述腐蚀箔在进入所述清洗液一内时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

喷淋管组二,其用于所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

7.根据权利要求6所述的腐蚀箔清洗装置,其特征在于:所述喷淋管组一包括喷淋管一,所述喷淋管一设置有能喷淋所述清洗液二的若干喷淋孔一,所述若干喷淋孔一用于所述腐蚀箔在进入所述清洗液一内时,在所述腐蚀箔的一侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

所述喷淋管组二包括喷淋管二,所述喷淋管二设置有用于喷淋所述清洗液二的若干喷淋孔二,所述若干喷淋孔二用于所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔的相对另一侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

8.根据权利要求6所述的腐蚀箔清洗装置,其特征在于:所述喷淋管组一包括喷淋管一、与所述喷淋管一相对设置的喷淋管三,所述喷淋管一与所述喷淋管三均设置有能喷淋所述清洗液二的若干喷淋孔一,所述若干喷淋孔一用于所述腐蚀箔在进入所述清洗液一内时,在所述腐蚀箔的相对两侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;

所述喷淋管组二包括喷淋管二、与所述喷淋管二相对设置的喷淋管四,所述喷淋管二与所述喷淋管四均设置有用于喷淋所述清洗液二的若干喷淋孔二,所述若干喷淋孔二用于所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔的相对两侧且与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。

9.根据权利要求6至8中任意一项所述的腐蚀箔清洗装置,其特征在于:所述喷淋管组一、所述喷淋管组二采用一个泵组成一个喷淋装置。

10.根据权利要求7或8所述的腐蚀箔清洗装置,其特征在于:每个喷淋管沿所述腐蚀箔的宽度方向的延伸,且每间隔10mm开有一个直径1.2mm的小孔作为喷淋孔,每个喷淋管为自由旋转式结构。

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