[发明专利]一种单片式平面电极电导率传感器

权利要求书

1.一种单片式平面电极电导率传感器，其特征是由基板(1)、矩形螺旋线圈电极(2)、矩形叉指电极(3)、过孔(4)、背面引线(5)、绝缘区(6)、馈电接口(7)、背面馈电接口(8)、表层金属层(9)、底层金属层(10)构成；矩形螺旋线圈电极(2)和矩形叉指电极(3)紧密贴附于基板(1)上，矩形叉指电极(3)在基板(1)中心，矩形螺旋线圈电极(2)从矩形叉指电极(3)一端口朝外引出，逆时针方向由内而外螺旋延伸，连接到馈电接口(7)，并将矩形叉指电极(3)包裹在内；过孔(4)位于矩形叉指电极(3)的右下角端口，在基板(1)背面过孔(4)通过背面引线(5)与背面馈电接口(8)连接，背面引线(5)与矩形螺旋形线圈(2)连接到馈电接口(7)的馈线平行；绝缘区(6)位于基板(1)下端正反两面的引线区。

2.权利要求1所述的单片式平面电极电导率传感器，其特征是所述的基板(1)采用陶瓷材料或者热固性树脂做基底，涂覆在基底增强材料，比如纸、布或者玻璃布上，烤干后压制成型。

3.权利要求1所述的单片式平面电极电导率传感器，其特征是所述的矩形叉指电极(3)的电极的宽度为1mm，两个相邻叉指间的间隔为2mm，叉指长度为18mm，叉指对数为6对。

4.权利要求1所述的单片式平面电极电导率传感器，其特征是所述的矩形螺旋线圈电极(2)螺旋线圈宽度为1mm，螺旋间距为2mm，螺旋周数为3周；矩形螺旋线圈电极(2)逆时针方向由内而外螺旋延伸终点延长30mm，以馈电接口(7)结束。

5.权利要求1所述的单片式平面电极电导率传感器，其特征是所述的过孔(4)中覆铜，在基板正反两面的绝缘区(6)涂覆厚度为0.1-0.3mm绝缘胶。

6.权利要求1所述的单片式平面电极电导率传感器，其特征是所述的矩形螺旋线圈电极(2)和矩形叉指电极(3)均为双层金属结构，表层金属层(9)是厚度为30μm的锡，底层金属层(10)厚度为30μm的铜。