[发明专利]一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器

权利要求书

1.一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，其特征在于：设计超分辨光瞳滤波器位相结构，将波前校正器置于成像光学系统瞳面上，通过自适应光学系统控制波前校正器产生已设计好的超分辨光瞳滤波器位相结构，实现超分辨物体成像；波前校正器产生的超分辨光瞳滤波器位相由波前传感器进行测量，测量结果输入计算机与设定的超分辨滤波器位相结构进行对比，根据对比结果进一步修正波前校正器，重复这一过程，实现对光瞳滤波器位相结构的闭环拟合；

所述可编程相位型光瞳滤波器包括信标光源、第一中继光学系统、波前校正器、第二中继光学系统、第一反射镜，第二反射镜、波前传感器；波前校正器通过第一中继光学系统与系统入瞳光学共轭，波前校正器通过第二中继光学系统与波前传感器光学共轭；

信标光源发出的平行光经第一中继光学系统、波前校正器、第二中继光学系统、第一反射镜后，通过第二反射镜到达波前传感器，波前传感器实时测量波前校正器的相位分布并将测量结果送至计算机；计算机根据测得的相位分布，并与设定的滤波器位相结构进行对比，根据对比结果经计算机控制软件处理，得到波前校正器的控制电压，经高压放大器对所述控制电压进行放大后，驱动波前校正器产生相应变化，以闭环拟合需要的光瞳滤波器相位结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，其特征在于：所述的波前校正器和波前传感器通过第二中继光学系统共轭放置，并与系统入瞳共轭。

3.根据权利要求1所述的一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，其特征在于：所述波前校正器是从变形反射镜，或液晶波前矫正器，或微加工薄膜变形镜，或微机电变形镜，或双压电陶瓷变形镜，或液体变形镜选择的。

4.根据权利要求1所述的一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，其特征在于：所述的波前传感器是基于微透镜阵列的哈特曼波前传感器，或基于微棱镜阵列的哈特曼波前传感器，或曲率波前传感器，或角锥波前传感器中选择的。