[发明专利]功能兼用型传感器

权利要求书

1.一种功能兼用型传感器，其特征在于，具有：

加热器驱动电路，其至少具有：端子间电压根据流体的流速而变化的加热器元件、端子间电压与所述流体的周围温度相对应地变化的温度传感器、以及输出与加热器电位和参考电位的差分相应的测定电位的运算放大器，所述加热器电位是所述加热器元件的所述端子间电压；

输出恒定电压的恒压电路；以及

开关，其对将所述温度传感器的所述端子间电压作为所述参考电位供给至所述运算放大器还是将所述恒定电压作为所述参考电位供给至所述运算放大器进行切换，

在所述温度传感器的所述端子间电压作为所述参考电位被供给时，所述功能兼用型传感器作为所述测定电位根据所述流体的流速变化的流速传感器进行动作，在所述恒定电压作为所述参考电位被供给时，所述功能兼用型传感器作为所述测定电位根据所述流体的热导率变化的热导率传感器进行动作。

2.如权利要求1所述的功能兼用型传感器，其特征在于，具有：

连接于所述测定电位和所述加热器元件之间的第一电阻元件；以及

连接于所述测定电位和所述温度传感器之间的第二电阻元件，

所述第一电阻元件以及所述第二电阻元件与所述加热器元件和所述温度传感器一起形成电桥电路。

3.如权利要求2所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

所述加热器元件被设置于覆盖设在基板上的空腔的绝缘膜的膜片部分，

所述温度传感器与所述加热器元件分开地设置在所述基板上。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

所述恒压电路具有第二运算放大器、和串联连接的第三电阻元件以及第四电阻元件，

由所述第三电阻元件和所述第四电阻元件分压后的中间电压作为所述恒定电压被输出。

5.如权利要求1至3中的任一项所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

所述恒压电路是多段电压驱动电路，其具有多个电阻元件和多个开关，通过所述多个开关的ON或者OFF，能够将多段的不同的电压作为由第三电阻元件和第四电阻元件分压后的中间电压输出。

6.如权利要求5所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

所述多段电压驱动电路具有第二运算放大器、n个开关、以及串联连接的n+1个电阻元件，

所述n个开关与所述第二运算放大器的输入端子并联连接，

所述第二运算放大器的所述输入端子通过各自的开关，与被施加了规定的电压电源的n+1个电阻元件的相邻的各对电阻元件之间电连接，

通过所述n个开关的ON或者OFF，能够切换多段的不同的电压作为所述中间电压。

7.如权利要求1至3中的任一项所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

还具有流速检测电路，该流速检测电路至少具有用于对流体的流动方向的上游侧和下游侧的流体温度进行检测的一对温度传感器。

8.如权利要求7所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

所述流速检测电路具有：

第二电桥电路，其由用于对流体的流动方向的上游侧的流体温度进行检测的上游侧温度传感器、用于对下游侧的流体温度进行检测的下游侧温度传感器、和串联连接的一对电阻元件形成；以及

第三运算放大器，其基于所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器的检测信号，输出与流体的流速和流动方向相对应地变化的测定电位。

9.如权利要求7所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

夹着所述加热器元件在流体的流动方向的上游侧和下游侧分别设置有所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器，所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器串联连接。

10.如权利要求8所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

夹着所述加热器元件在流体的流动方向的上游侧和下游侧分别设置有所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器，所述上游侧温度传感器和所述下游侧温度传感器串联连接。

11.如权利要求4所述的功能兼用型传感器，其特征在于，

还具有流速检测电路，该流速检测电路至少具有用于对流体的流动方向的上游侧和下游侧的流体温度进行检测的一对温度传感器。