[发明专利]一种高产能吸盘的气道结构在审
| 申请号： | 201510253470.3 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN104950591A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 宋耀东;项宗齐;何少锋;方林 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 产能 吸盘 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种高产能吸盘的气道结构，其特征在于：包括有吸盘体，吸盘体内设有位于下部的十字形的下层气道、位于中部的环形通道以及位于上部的若干相互独立的上层气道；吸盘体内设有联通于下层气道与环形通道之间的下层联通孔、联通于环形通道与相应上层气道之间的若干中层联通孔以及联通于吸盘表面与相应上层气道之间的吸气孔，吸盘表面上设有若干排与吸气孔一一对应的吸气槽；环形通道与相应的上层气道之间联通的部位分别设有气路开关；所述吸盘体底部设有与下层气道联通的抽气孔。
2.根据权利要求1所述的一种高产能吸盘的气道结构，其特征在于：所述吸盘体中心设有与下层气道联通的上层中心气道，吸盘表面中心设有与上层中心气道联通的中心吸气槽。
3.根据权利要求1或2所述的一种高产能吸盘的气道结构，其特征在于：所述吸盘体包括有密封贴合的上、下吸盘，所述上层气道位于上吸盘内，下层气道位于下吸盘内。
4.根据权利要求3所述的一种高产能吸盘的气道结构，其特征在于：所述上、下吸盘的对合面上分别开有环形的凹槽，上、下吸盘对合后形成环形通道。
5.根据权利要求3所述的一种高产能吸盘的气道结构，其特征在于：所述下层联通孔的下口部位位于下层气道的十字端头部位。
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