[发明专利]一种夹具及镀膜设备中使用的载具有效
申请号: | 201510254289.4 | 申请日: | 2015-05-18 |
公开(公告)号: | CN104891818B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 穆慧慧 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00;C23C14/50 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 夹具 镀膜 设备 使用 | ||
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种夹具及镀膜设备中使用的载具。
背景技术
镀膜玻璃是指在玻璃基板表面涂镀一层或多层薄膜,以使玻璃基板具有热反射、低辐射和导电等性能。目前通常采用镀膜设备制作镀膜玻璃,具体地,首先将玻璃基板置于载具上,然后将载具安装在传输装置上,并通过传输装置将玻璃基板运送到镀膜设备的溅射室内,通过磁控溅射的方式使玻璃基板在溅射室内完成镀膜;镀膜结束后,通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出,然后从载具上取下镀膜后的玻璃基板(镀膜玻璃)。
为了增加每批次镀膜玻璃的生产数量,承载玻璃基板的载具竖直设置在传输装置上,以使玻璃基板在溅射室内直立设置。因此,为了防止玻璃基板从载具上滑落,在载具的四周设有多个用于夹持玻璃基板的夹具,每个夹具包括通过扭转弹簧连接的固定夹片和活动夹片,固定夹片固定安装在载具上,活动夹片的夹持端固设有夹持垫板。使用时,通过按压活动夹片的按压端,使夹具张开,从而方便将玻璃基板放入;撤销对活动夹片的按压力,在扭转弹簧的回复力作用下,夹具闭合,夹持垫板夹持在玻璃基板边缘,从而将玻璃基板夹持安装在载具上。镀膜结束后,通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出,然后按压活动夹片的按压端,便可将镀膜后的玻璃基板从载具上取下。
然而,本申请发明人实际应用时发现:在将玻璃基板安装在载具上和从载具上取下镀膜后的玻璃基板时,容易出现玻璃基板的边缘破片问题,造成玻璃基板的边缘破片的原因主要有以下两方面:一方面,将玻璃基板置于载具上后,夹具在闭合时,若扭转弹簧的回复弹力较大,夹具闭合速度过快,使得夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘,造成玻璃基板的边缘破片;另一方面,在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时,需要不断地向溅射室内充气,在充入溅射室内的气体冲击下,玻璃基板的震动较大,而上述各夹具一般夹持在玻璃基板的边缘1cm左右深度,导致玻璃基板的一部分边缘脱离出对应的夹具,使得玻璃基板的这一部分边缘从位于夹持垫板和固定夹片之间的位置移至夹持垫板外侧的位置,因此,当从载具上取下镀膜后的玻璃基板时,夹具张开会对玻璃基板的边缘形成外撑力,造成玻璃基板的边缘破片。
发明内容
本发明的目的在于提供一种夹具及镀膜设备中使用的载具,用于解决夹具在闭合和张开过程中易造成玻璃基板的边缘破片的问题。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一方面,本发明提供了一种夹具,应用在镀膜设备中使用的载具上,所述夹具包括固定夹片和活动夹片,所述活动夹片通过扭转弹簧与所述固定夹片相连,所述活动夹片上设有导向槽,所述导向槽内滑动安装有夹持垫板;所述活动夹片上设有传动机构,且所述传动机构与所述夹持垫板连接;当对所述传动机构施力使活动夹片张开时,所述夹持垫板在所述传动机构的带动下缩回活动夹片内,当撤销对传动机构的施力、所述活动夹片在所述扭转弹簧作用下闭合时,所述夹持垫板在所述传动机构的带动下伸出活动夹片外。
另一发面,本发明还提供了一种镀膜设备中使用的载具,所述载具上设有上述技术方案所提的夹具。
在本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具中,由于夹持垫板滑动安装在活动夹片上的导向槽中,且当对传动机构施力使活动夹片张开时,夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内,当撤销对传动机构的施力、活动夹片在所扭转弹簧作用下闭合时,夹持垫板在传动机构的带动下伸出活动夹片外;因此,当将玻璃基板在载具上安放好后,活动夹片在扭转弹簧作用下闭合时,夹持垫板在传动机构的带动下逐渐伸出活动夹片外,使得夹持垫板与玻璃基板呈滑动接触,避免夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘,从而防止玻璃基板的边缘出现破片。当将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时,对传动机构施力使活动夹片张开的同时,夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内,从而可防止活动夹片张开时外撑镀膜后的玻璃基板,进而可以防止玻璃基板的边缘出现破片。
综上,采用本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具,在夹具闭合和张开过程中,能够避免出现玻璃基板的边缘破片问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本发明的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1为本发明实施例提供的夹具的结构示意图;
图2为图1中A向视图;
图3为图1中B向视图;
图4为本发明实施例中推动杆的结构示意图。
附图标记:
10-固定夹片, 20-活动夹片,
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