[发明专利]一种咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂为悬浮液，其包含的组分及其重量百分比为：咪唑啉季铵盐10~30%，Fe₃O₄颗粒0.01~0.1%，表面改性剂1~10 %，葡萄糖酸钠5~15%，余量为水。

2.根据权利要求1所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂为悬浮液，其包含的组分及其重量百分比为：咪唑啉季铵盐15~25%，Fe₃O₄颗粒0.02~0.06%，表面改性剂2~6%，葡萄糖酸钠6~10%，余量为水。

3.根据权利要求1或2所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述Fe₃O₄颗粒的粒径为1~200nm。

4.根据权利要求1或2所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述Fe₃O₄颗粒的粒径为10~50nm。

5.根据权利要求1或2所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述表面改性剂为柠檬酸盐、十二烷基硫酸钠或四甲基氢氧化铵中的至少一种。

6.根据权利要求1或2所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述Fe₃O₄颗粒为经过表面处理的Fe₃O₄颗粒。

7.根据权利要求1或2所述的咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂，其特征在于：所述咪唑啉季铵盐由咪唑啉中间体经改性制得，包括以下步骤：

步骤A：在有机酸酯与有机胺的混合物中加入催化剂和除水剂，进行脱醇反应，然后进行分子内环化脱水反应得到咪唑啉中间体；所述有机酸酯与有机胺的摩尔比为1:(1~1.3)；所述脱醇反应的反应温度为120~160℃，反应时间2~5小时；所述分子内环化脱水反应的反应温度为180~230℃，反应时间3~6小时；

其中，所述有机酸酯为C12~C18的饱和硬脂酸酯或C12~C18的羧酸酯中的至少一种；

所述有机胺为二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺或羟乙基乙二胺中的至少一种；

所述催化剂为活性氧化铝、硼酸或锌粒中的一种；

所述除水剂为氧化钙；

步骤B：在步骤A中得到的咪唑啉中间体中加入水溶性改性剂并混合均匀，在90~110℃环境下进行恒温反应2~5h，得到咪唑啉季铵盐；其中，所述咪唑啉中间体与水溶性改性剂的摩尔比为1:(1~1.1)；所述水溶性改性剂为氯化苄、氯乙酸钠、氯乙酸或冰醋酸中的至少一种。

8.一种如权利要求1~7任意一项所述咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂的制备方法，其特征在于：先将Fe₃O₄颗粒加入到水中进行分散，再加入表面改性剂，恒温搅拌反应，得到表面改性的Fe₃O₄悬浮液，搅拌温度为50~90℃，搅拌时间为2~6h；再加入咪唑啉季铵盐及葡萄糖 酸钠，混合均匀。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：所述Fe₃O₄颗粒先研磨，然后再加入到水中进行超声分散；所述搅拌温度为60~80℃，所述搅拌时间为3~5h。

10.一种如权利要求1~7任意一项所述咪唑啉季铵盐复配型缓蚀剂的制备方法，其特征在于：先将Fe₃O₄颗粒加入到水中进行超声分散，再加入表面改性剂、咪唑啉季铵盐及葡萄糖 酸钠，混合均匀。