[发明专利]一种石墨烯柔性传感器及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201510259874.3 申请日: 2015-05-20
公开(公告)号: CN104949609A 公开(公告)日: 2015-09-30
发明(设计)人: 朱宏伟;杨婷婷;郑泉水;姜欣;何艺佳;王稳 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16;G01H11/06
代理公司: 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人: 马佑平;马铁良
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 柔性 传感器 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种石墨烯柔性传感器,其特征在于,包括:

石墨烯编织网(1),所述石墨烯编织网(1)中具有石墨烯纤维,所述石墨烯纤维在编织搭接点(11)周围的部位为薄弱段(12);

至少两个触点电极(3),所述触点电极(3)设置在所述石墨烯编织网(1)上;

柔性基材(2),用于承载所述石墨烯编织网(1)和触点电极(3),所述石墨烯编织网(1)与所述柔性基材(2)紧密接合,以使所述石墨烯编织网(1)随所述柔性基材(2)产生形变;

引线(4),所述引线(4)与相对应的触点电极(3)连接;

在所述石墨烯编织网(1)随所述柔性基材(2)产生拉伸形变时,所述薄弱段(12)产生裂纹和/或断裂。

2.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯纤维由石墨烯晶片构成,所述石墨烯晶片堆叠排列成鳞片式结构。

3.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述触点电极(3)分布在所述石墨烯编织网(1)的边缘,且所述触点电极(3)与所述石墨烯纤维的端部连接。

4.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,每个所述触点电极(3)上连接有引线(4)。

5.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述柔性基材(2)包覆所述石墨烯编织网(1),以使所述石墨烯编织网(1)与外部隔离。

6.根据权利要求1-4任意之一所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯编织网(1)具有矩形孔隙或三角形孔隙。

7.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯纤维为整条纤维结构,或者为石墨烯条段顺次排列构成的分段式结构。

8.一种石墨烯柔性传感器的制造方法,其特征在于,包括:

步骤1、提供编织网衬底,在所述编织网衬底的表面进行化学气相沉积,形成覆盖在所述编织网衬底上的石墨烯编织网;

步骤2、刻蚀去除所述编织网衬底;

步骤3、在所述石墨烯编织网上设置触点电极;

步骤4、在所述触点电极上连接引线,并在所述石墨烯编织网周围形成柔性基材。

9.根据权利要求8所述的制造方法,其特征在于,在所述步骤1中,化学气相沉积的碳源气体进气速率为4mL/min~9mL/min,进气时间为8min~13min。

10.根据权利要求8所述的制造方法,其特征在于,在所述步骤3中,在所述石墨烯编织网上涂覆导电银胶,形成所述触点电极。

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