[发明专利]一种石墨烯柔性传感器及其制造方法在审
申请号: | 201510259874.3 | 申请日: | 2015-05-20 |
公开(公告)号: | CN104949609A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 朱宏伟;杨婷婷;郑泉水;姜欣;何艺佳;王稳 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;G01H11/06 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 马佑平;马铁良 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 柔性 传感器 及其 制造 方法 | ||
1.一种石墨烯柔性传感器,其特征在于,包括:
石墨烯编织网(1),所述石墨烯编织网(1)中具有石墨烯纤维,所述石墨烯纤维在编织搭接点(11)周围的部位为薄弱段(12);
至少两个触点电极(3),所述触点电极(3)设置在所述石墨烯编织网(1)上;
柔性基材(2),用于承载所述石墨烯编织网(1)和触点电极(3),所述石墨烯编织网(1)与所述柔性基材(2)紧密接合,以使所述石墨烯编织网(1)随所述柔性基材(2)产生形变;
引线(4),所述引线(4)与相对应的触点电极(3)连接;
在所述石墨烯编织网(1)随所述柔性基材(2)产生拉伸形变时,所述薄弱段(12)产生裂纹和/或断裂。
2.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯纤维由石墨烯晶片构成,所述石墨烯晶片堆叠排列成鳞片式结构。
3.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述触点电极(3)分布在所述石墨烯编织网(1)的边缘,且所述触点电极(3)与所述石墨烯纤维的端部连接。
4.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,每个所述触点电极(3)上连接有引线(4)。
5.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述柔性基材(2)包覆所述石墨烯编织网(1),以使所述石墨烯编织网(1)与外部隔离。
6.根据权利要求1-4任意之一所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯编织网(1)具有矩形孔隙或三角形孔隙。
7.根据权利要求1所述的石墨烯柔性传感器,其特征在于,所述石墨烯纤维为整条纤维结构,或者为石墨烯条段顺次排列构成的分段式结构。
8.一种石墨烯柔性传感器的制造方法,其特征在于,包括:
步骤1、提供编织网衬底,在所述编织网衬底的表面进行化学气相沉积,形成覆盖在所述编织网衬底上的石墨烯编织网;
步骤2、刻蚀去除所述编织网衬底;
步骤3、在所述石墨烯编织网上设置触点电极;
步骤4、在所述触点电极上连接引线,并在所述石墨烯编织网周围形成柔性基材。
9.根据权利要求8所述的制造方法,其特征在于,在所述步骤1中,化学气相沉积的碳源气体进气速率为4mL/min~9mL/min,进气时间为8min~13min。
10.根据权利要求8所述的制造方法,其特征在于,在所述步骤3中,在所述石墨烯编织网上涂覆导电银胶,形成所述触点电极。
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