[发明专利]搬运装置

说明书

本发明提供一种可由简单的装置结构同时地搬运多个物品的搬运装置。顶棚搬运车(10)具备对盒(80)进行把持的夹持装置(20)，对由夹持装置(20)把持的盒(80)进行搬运。顶棚搬运车(10)如以下那样构成，即，具备对由夹持装置(20)把持的盒(80)进行收纳的物品收纳部(40、41)；物品收纳部(40、41)具有从夹持装置(20)承接由夹持装置(20)把持的盒(80)的回旋台板(42、43)，回旋台板(42、43)在承接了从夹持装置(20)承接的盒(80)的状态下使盒(80)从夹持装置(20)移动到物品收纳部(40、41)。

技术领域

本发明涉及对半导体基板等工件、收纳了工件的搬运容器等物品进行搬运的搬运装置。

背景技术

在现有技术的半导体器件等的制造设备中，有时，半导体基板等工件、收纳了工件的搬运容器等物品，在被沿着设于设备的顶棚附近的行走轨行走的顶棚搬运车(搬运装置)把持的状态下，在多个处理装置之间依次搬运。并且，有时还由1台顶棚搬运车同时对多个物品进行搬运。

例如，在专利文献1中公开了一种掩模搬运装置，该掩模搬运装置包含台车和把持件。该台车可动地与为了向掩模储存装置及基板处理装置搬运图案转印用掩模而敷设的轨道轨连接，可沿上述轨道轨移动，而且，可将与上述轨道轨连接的部分作为轴大体水平地进行旋转。该把持件为了把持多个可收纳图案转印用掩模的掩模收纳容器而配备于上述台车。

在专利文献1的搬运装置中，通过在台车设置多个用于对掩模收纳容器(物品)进行把持的把持件，由各把持件对掩模收纳容器进行把持，同时地搬运多个掩模收纳容器。

专利文献1：日本特开2002-362737号公报

发明内容

然而，在专利文献1的搬运装置中，为了同时地搬运多个搬运容器(物品)，必须在台车设置多个把持单元。另外，必须设置用于对这些多个把持单元的全部进行驱动的驱动单元。因此，存在搬运装置的装置构造变复杂的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种可由简单的装置结构同时地搬运多个物品的搬运装置。

本发明要解决的课题如上，接下来对用于解决此课题的技术手段进行说明。

即，本发明中的技术方案1记载的搬运装置具备对物品进行把持的物品把持单元，对由上述物品把持单元进行把持的上述物品进行搬运；在该搬运装置中，具备对由上述物品把持单元把持的上述物品进行收纳的物品收纳部；上述物品收纳部具有从上述物品把持单元承接由上述物品把持单元把持的上述物品的承接部；上述承接部，在从上述物品把持单元承接了物品的状态下，使从上述物品把持单元承接的物品从上述物品把持单元移动到上述物品收纳部。

当采用上述构成时，由承接部承接由物品把持单元把持的物品，使承接的物品从物品把持单元移动到物品收纳部。即，使由物品把持单元把持的物品从物品把持单元的把持位置向其它的位置(物品收纳部)移动。

另外，技术方案2记载的发明在技术方案1记载的搬运装置中，上述承接部被设置成能够相对于上述物品收纳部回旋；通过使上述承接部回旋，从而使由上述物品把持单元把持的上述物品从上述物品把持单元移动到上述物品收纳部。

当采用上述构成时，物品从物品把持单元到物品收纳部的移动通过使承接了物品的承接部回旋来进行。

并且，技术方案3记载的发明在技术方案1或技术方案2记载的搬运装置中，具备使由上述物品把持单元把持的上述物品在由上述物品把持单元把持的状态下进行升降的升降单元；上述物品收纳部沿着上述升降单元对上述物品进行升降的升降路径设置。

当采用上述构成时，脱离由升降单元对物品进行升降的升降路径进行物品在物品收纳部的收纳。

根据本发明的搬运装置，因为可在使单一的物品把持单元把持的物品移动到物品收纳部的状态下对物品进行搬运，所以，可由简单的装置结构同时地搬运多个物品。