[发明专利]一种化学气相沉积设备真空度智能控制系统

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备真空度智能控制系统，其特征在于，包括反应腔体、真空规、控制器、信号转换器、电动执行元件、真空泵，反应腔体的输入端口设置气体输送管道，反应腔体的输出端口通过气体输送管道与真空泵连接，反应腔体的输出端口与真空泵之间的气体输送管道上设置电动执行元件，真空规安装在反应腔体上，真空规与控制器的输入端连接，控制器的输出端与信号转换器的输入端连接，信号转换器的输出端与电动执行元件连接。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备真空度智能控制系统，其特征在于，真空规与控制器的输入端之间通过信号电缆连接，控制器的输出端与信号转换器的输入端之间通过信号电缆连接，信号转换器的输出端与电动执行元件之间通过信号电缆连接。

3.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积设备真空度智能控制系统，其特征在于，电动执行元件包括进气口、排气口、控制阀，进气口通过气体输送管道与反应腔体的输出端口连通，排气口通过气体输送管道与真空泵连通，进气口与排气口之间被控制阀隔开，信号转换器的输出端与控制阀连接。