[发明专利]基于常压等离子体的多模式离子源工作装置及应用

权利要求书

1.一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，由离子引出电极（1）、M2固定螺杆（2）、引出电极垫片（3）、入口电极垫片（4）、入口电极（5）、初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）、准直电极一（8）、准直电极垫片（9）、准直电极二（10）、准直电极三（11）、后偏转电极上（12）、后偏转电极垫片（13）、后偏转电极下（14）、固定螺杆（15）、固定套（16）构成；入口电极（5）通过M2固定螺杆（2）固定在初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）与离子引出电极（1）之间，引出电极垫片（3）、入口电极垫片（4）位于初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）与离子引出电极（1）之间，初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）为第一对偏转对，位于入口电极（5）和准直电极一（8）之间，准直电极一（8）、准直电极二（10）、准直电极三（11）依次同轴排列并位于初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）和后偏转电极上（12）、后偏转电极下（14）之间，准直电极一（8）、准直电极二（10）、准直电极三（11）三个圆环电极具有中心同轴孔，准直电极一（8）、准直电极二(10)、准直电极三(11)之间通过准直电极垫片(9)和后偏转电极垫片(13)进行绝缘和固定，后偏转电极上(12)、后偏转电极下(14)为第二对偏转对，固定螺杆（15）穿过第一对和第二对偏转电极对、准直电极一（8）、准直电极二(10)、准直电极三(11)的过孔，与离子引出电极（1）固定，固定套（16）套在第一对偏转对和第二对偏转对外侧，与离子引出电极（1）紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）为第一对偏转对，后偏转电极上(12)、后偏转电极下(14)为第二对偏转对，其中初始偏转电极上（6）、初始偏转电极下（7）、后偏转电极上(12)、后偏转电极下(14)均为一斜角45°的长方体结构，选用304不锈钢材料。

3.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，准直电极一（8）、准直电极二（10）、准直电极三（11）为带孔圆环结构，依次同轴排列，选用304不锈钢材料，在准直电极二10的中性分子过孔（34）上设有一样品放置凹槽（33）。

4.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，依次在准直电极一（8）、准直电极二(10)、准直电极三(11)之间设置2个准直电极垫片(9)。

5.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，初始偏转电极下（7）和后偏转电极下(14)之间设置后偏转电极垫片(13)。

6.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，离子引出电极（1）设有装置固定孔（17）、等离子体入口（18）、入口电极固定螺钉过孔（19）、偏转电极固定螺杆过孔（20），等离子体入口（18）与等离子体火焰同轴心。

7.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置，其特征在于，引出电极垫片（3）、入口电极垫片（4）、准直电极垫片（9）、后偏转电极垫片（13）及固定套（16）选用绝缘材料聚四氟乙烯。

8.根据权利要求1所述的一种基于常压等离子体的多模式离子源工作装置在多模式离子源工作中应用。