[发明专利]一种TEM样品制备方法有效
| 申请号： | 201510266340.3 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN106289892B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 何明;郭炜;孔云龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tem 样品 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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