[发明专利]MEMS结构体、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510266530.5 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN105293417A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾;蝦名昭彦 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 结构 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种MEMS结构体，其特征在于，具有：
基板；
固定电极，其配置在所述基板的上方；
可动电极，其具有与所述固定电极分离地相对配置的可动部；以及
加强部，其以沿着所述可动部扩展的方向延伸的方式配置于所述可动电极，该加强部包含杨氏模量比所述可动电极大的材料。
2.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述加强部具有沿着所述可动部的宽度方向延伸的部分。
3.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述可动电极具有固定部，该固定部与所述可动部相连，且相对于所述基板被固定，
所述加强部具有沿着所述可动部和所述固定部在俯视时的排列方向延伸的部分。
4.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述可动电极具有固定部，该固定部与所述可动部相连，且固定在所述基板上，
所述加强部具有以连接所述可动部和所述固定部的方式配置的部分。
5.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述加强部包含金属。
6.根据权利要求5所述的MEMS结构体，其中，
所述金属包含钨。
7.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述加强部在所述可动电极的厚度方向上贯通。
8.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述加强部分别配置在所述可动电极的两面。
9.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中，
所述可动部的数量为多个。
10.一种电子设备，其特征在于，其具有权利要求1所述的MEMS结构体。
11.一种移动体，其特征在于，其具有权利要求1所述的MEMS结构体。
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