[发明专利]一种自动调焦的对准系统及对准方法有效
| 申请号： | 201510268931.4 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106292203B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 于大维 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207;G03F9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 调焦 对准 系统 方法 | ||
【说明书】：
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