[发明专利]利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺

权利要求书

1.利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺，包括下述步骤：

1)在支撑衬底上，依次生长电池有源层、电池本体层；

2)在电池本体层方向，使用BCB胶与廉价衬底键合；

3)选择腐蚀衬底剥离工艺将支撑衬底及电池有源层剥离；

4)将步骤3得到的太阳能电池本体层在首结方向通过BCB胶键合到硅衬底；

5)将BCB胶剥离，得到完整的电池本体层，即电池功能结构。

2.根据权利要求1所述的利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺，其特征在于：采用低温热压键合工艺使所述BCB胶将太阳能电池与廉价衬底连接起来。

3.根据权利要求1所述的利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺，其特征在于：所述廉价衬底为聚酰亚胺薄膜衬底，金属钼、铜、镍薄膜衬底，PMMA薄膜衬底，PDMS薄膜衬底，不锈钢薄膜衬底中的一种。