[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，该成膜装置将挠性基板安装固定于基板安装部并在该挠性基板上形成薄膜，其特征在于，

在对所述挠性基板的周边部以自由装卸的方式进行把持而安装固定的所述基板安装部上设置有基板配设开口部，该基板配设开口部将该挠性基板配设为架设状态，

该成膜装置设置有凸面状基板承受部，该凸面状基板承受部与配设于该基板安装部的基板配设开口部的所述挠性基板密合抵接，

该成膜装置设置有施力把持机构，该施力把持机构将所述挠性基板的周边部把持于所述基板安装部，并且向外侧拉伸施力而对所述挠性基板赋予张力而安装固定，

通过所述施力把持机构而对所述挠性基板进行了安装固定的所述基板安装部构成为相对于所述凸面状基板承受部相对移动自如，并且所述施力把持机构构成为在所述相对移动方向上抵抗所述施力而移动自如，

该成膜装置构成为：通过使所述基板安装部相对于所述凸面状基板承受部相对移动，从而将所述凸面状基板承受部向配设于该基板安装部的所述基板配设开口部的所述挠性基板推压，并且一边通过因所述施力把持机构向所述相对移动方向的弹性移动而产生的返回施力对所述挠性基板赋予张力，一边将该挠性基板推压于所述凸面状基板承受部。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述基板安装部是设置有所述基板配设开口部的框状体，该框状体上设置有多个所述施力把持机构，所述施力把持机构具备对所述挠性基板的周边部进行把持的把持部以及将该把持部向外侧拉伸施力的施力体，该施力把持机构设置为在所述相对移动方向上抵抗所述施力体的施力而移动自如。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：在所述基板安装部上设置有固定把持部，该固定把持部对所述挠性基板的周边部以自由装卸的方式进行把持但不具备进行拉伸施力的施力部，在与该固定把持部对置的位置上设置有所述施力把持机构。

4.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：在所述基板安装部上设置有固定把持部，该固定把持部对所述挠性基板的周边部以自由装卸的方式进行把持但不具备进行拉伸施力的施力部，在与该固定把持部对置的位置上设置有所述施力把持机构。

5.根据权利要求1～4的任意1项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：通过输送机构使所述基板安装部在所述相对移动方向上相对移动，使所述凸面状基板承受部以配设或者贯插于该基板安装部的所述基板配设开口部内的方式相对移动并将所述基板安装部的所述挠性基板推抵于所述凸面状基板承受部，从而所述挠性基板推压于所述凸面状基板承受部。

6.根据权利要求1～4的任意1项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：通过输送机构使所述凸面状基板承受部在所述相对移动方向上相对移动，使所述凸面状基板承受部以配设或者贯插于所述基板安装部的所述基板配设开口部内的方式相对移动并将所述凸面状基板承受部推抵于所述基板安装部的所述挠性基板，从而所述挠性基板推压于所述凸面状基板承受部。

7.根据权利要求1～4的任意1项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：通过所述基板安装部的自重将所述基板安装部的所述挠性基板推抵于所述凸面状基板承受部，从而所述挠性基板推压于所述凸面状基板承受部。

8.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置构成为：通过对所述基板安装部的所述挠性基板和所述凸面状基板承受部进行推抵，从而配设于所述基板配设开口部内的所述挠性基板通过所述施力把持机构而被赋予张力，并且该施力把持机构抵抗用于赋予所述张力的施力而弯曲或者倾转而被推压于所述凸面状基板承受部。