[发明专利]一种石英坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201510274562.X | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN104962991B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 彭立华;秦善;季勇升 | 申请（专利权）人： | 江苏润弛太阳能材料科技有限公司;北京大学 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 212218 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
1.一种石英坩埚，其特征在于，包括：石英坩埚本体、依次涂覆在石英坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层；
所述碳化硅涂层包括碳化硅与二氧化硅；所述碳化硅与二氧化硅的质量比为(40～80)：(3～30)；
所述氮化硅涂层包括氮化硅与二氧化硅；所述氮化硅与二氧化硅的质量比为(40～80)：(3～30)。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述碳化硅涂层的厚度为0.05～2mm。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述氮化硅涂层的厚度为0.05～2mm。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述碳化硅涂层与氮化硅涂层的总厚度为0.1～2mm。
5.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括：
A)将碳化硅与碳化硅稀释剂混合，得到碳化硅涂层浆料；
将氮化硅与氮化硅稀释剂混合，得到氮化硅涂层浆料；
所述碳化硅稀释剂与氮化硅稀释剂各自独立地为硅溶胶；
所述碳化硅的质量为碳化硅涂层浆料质量的40％～80％；
所述氮化硅的质量为氮化硅涂层浆料质量的40％～80％；
B)将所述碳化硅涂层浆料涂覆在石英坩埚本体的内壁上，干燥，然后涂覆所述氮化硅涂层浆料，干燥，得到石英坩埚。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述碳化硅的粒径为D50≤100μm。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述碳化硅稀释剂与氮化硅稀释剂中二氧化硅的质量浓度各自独立地为15％～50％。
8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅的粒径为D50≤100μm。
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