[发明专利]3D X-RAY检测用的夹具在审
申请号: | 201510276301.1 | 申请日: | 2015-05-26 |
公开(公告)号: | CN104897697A | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 陈媛;侯波 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培 |
地址: | 510610 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ray 检测 夹具 | ||
技术领域
本发明涉及电子检测技术领域,特别涉及一种3D X-RAY检测用的夹具。
背景技术
目前,在对电子芯片、PCB板、电容器等电子元器件进行检测时会用到3D X-RAY设备,3D X-RAY(X射线)检测设备对包括上述电子元器件的样品扫描后会形成3D图像,该3D图像可以消除物体重叠对检测带来的影响,准确地显示样品的完整信息,包括被大量覆盖的、隐藏的缺陷信息。样品在3D X-RAY检测设备中被X射线源扫描时,需由夹具固定并随着其中的旋转装置旋转,夹具是放置在旋转装置上的,且随样品的不同而有多种,这就要求夹具能保持稳固性,不会抖动而影响扫描的准确性,同时密度和原子序数也不能太大,否则会极大地降低X射线的能量强度,进而影响成像效果。
发明内容
基于此,本发明的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种具有良好稳定性、能够快速更换检测样品的3D X-RAY检测用的夹具。
其技术方案如下:
一种3D X-RAY检测用的夹具,包括底盘、支撑杆和样品杆,支撑杆竖直地设立在底盘上,该支撑杆的上端设有紧固装置,样品杆的下端与紧固装置的连接口相适配,样品杆的上端用于放置检测样品。
在其中一个实施例中,所述样品杆的直径等于或小于检测样品的直径。
在其中一个实施例中,所述样品杆的密度ρ1≤1.5g/cm3、原子序数n≤6,所述样品杆为棒状结构体。
在其中一个实施例中,所述样品杆为碳棒或塑料棒。
在其中一个实施例中,所述底盘为密度ρ2≥7g/cm3的板状结构体。
在其中一个实施例中,所述底盘为钢板或石板。
在其中一个实施例中,所述底盘通过螺丝与3D X-RAY检测设备的样品台构成可拆卸连接。
在其中一个实施例中,所述紧固装置包括主体和套设在主体上的螺套,所述主体的下端与所述支撑杆连接,所述连接口设置在主体的上端,螺套在主体上旋转的时候能够调节所述连接口的口径。
在其中一个实施例中,所述支撑杆的轴心线、所述紧固装置的轴心线和所述样品杆的轴心线都位于所述底盘的轴心线上。
下面对前述技术方案的优点或原理进行说明:
上述的3D X-RAY检测用的夹具中,样品杆用于固定检测样品;支撑杆用于固定样品杆,并提供合适的高度使样品杆上的检测样品与3D X-RAY检测设备中的射线源及探测器处于同一高度,以提高扫描成像效果(即提高检测的准确性);紧固装置用于固定样品杆,这种可拆卸式的方式便于固定不同直径的样品杆(以便固定不同直径的检测样品);底盘用于与3D X-RAY检测设备的样品台连接,底盘的轴心线位于样品台的轴心线上,能够保障随样品台旋转的过程中保持稳定,避免检测样品抖动影响扫描成像效果。它是一种具有良好稳定性、能够快速更换检测样品的夹具。
附图说明
图1为本发明实施例所述的3D X-RAY检测用的夹具的结构示意图;
附图标记说明:
1、底盘,11、螺丝,2、支撑杆,21、紧固装置,3、样品杆,4、检测样品。
具体实施方式
下面对本发明的实施例进行详细说明:
如图1所示,为一种3D X-RAY检测用的夹具,其包括底盘1、支撑杆2和样品杆3,支撑杆2竖直地设立在底盘1上,该支撑杆2的上端设有紧固装置21,样品杆3的下端与紧固装置21的连接口相适配,样品杆3的上端用于固定检测样品4(如电子芯片、PCB板、电容器等电子元器件)。其中,样品杆3用于固定检测样品4(如采用胶黏剂的方式进行固定);支撑杆2用于固定样品杆3,并提供合适的高度使样品杆3上的检测样品4与3D X-RAY检测设备中的射线源及探测器处于同一高度,以提高扫描成像效果(即提高检测的准确性);紧固装置21用于固定样品杆3,这种可拆卸式的方式便于固定不同直径的样品杆3(以便固定不同直径的检测样品4);底盘1用于与3D X-RAY检测设备的样品台连接,底盘的轴心线位于样品台的轴心线上,能够保障随样品台旋转的过程中保持稳定,避免检测样品4抖动影响扫描成像效果。它是一种具有良好稳定性、能够快速更换检测样品4的夹具。
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