[发明专利]Z扫描光学偏振度测量装置和测量方法

权利要求书

1.一种用于Z扫描的光学偏振度测量装置，其特征在于，其构成包括：

光源单元，该光源单元包括第一激光器(2)、第二激光器(5)和信号发生器(1)，其能够产生不同波段的激光；

二向色分束器(8)，其能够为从光源单元入射的不同波段的入射光提供不同的分束比；

薄膜样片测试单元，该薄膜样片测试单元包括第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)以及第一样片控制台和第二样片控制台，其中第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)分别与第一样片控制台和第二样片控制台连接，第一样片控制台和第二样片控制台分别连接到第二聚焦透镜(13)和第一探测头(14)以及第三聚焦透镜(19)和第探二测头(20)，所述第一样片控制台包括第一夹具(11)、第一样片(12)和第一控制平台(15)，第二样片控制台包括第二夹具(17)、第二样片(18)和第二控制平台(21)，来自二向色分束器(8)的光进入第一非偏振分束器而分为两束光，透射的光进入第一样片(12)，反射的光进入第二非偏振分束器(16)；以及

偏振仪，

其中，第一非偏振分束器(10)和第二非偏振分束器(16)将光束一分为二，其中分出来的两束光偏振度相同，

其中，由光源单元产生的激光经由主光路到达薄膜样片测试单元，通过所述薄膜样片测试单元的光利用偏振仪并借助计算机而在软件界面上显示以计算出样片对光的偏振度。

2.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：第一激光器(2)输出激光的主光路、第二激光器(5)和第一激光器(2)同时输出激光的主光路，沿所述的第一激光器(2)输出激光的主光轴方向上依次具有第一光纤(3)、第一准直器(4)、二向色分束器(8)、第一聚焦透镜(9)、薄膜样片测试单元、第四聚焦透镜(22)、第三探测头(23)、偏振仪(24)和计算机(25)；所述的第二激光器(5)和第一激光器(2)同时输出激光的光路上具有第二激光器(5)、第二光纤(6)和第一准直器(7)，来自第一准直器的光入射到二向色分束器，其后续光路与第一激光器(2)输出激光的主光路相同。

3.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：第一样片(12)和第二样片(18)分别固定在第一控制平台(15)和第二控制平台(21)，控制平台由计算机(25)控制，在计算机的控制下，样片能够在平行于光路的平台Z轴移动。

4.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：连接激光器与准直器的分别是第一光纤(3)和第二光纤(6)，两者均是保偏光纤。

5.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：准直器(4)与(7)的内部包含凸透镜，以将激光变成平行光，从而使光最大效率的输出。

6.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：利用非偏振分束器分出来的光作为参考光，即第四聚焦透镜(22)和第三探测头(23)构成了测量参考光偏振度的一个模块单元。

7.根据权利要求1所述的光学偏振度测量装置，其特征在于：探测头即第一探测头(14)、第二探测头(20)、第三探测头(23)与偏振仪(24)中的对应读出卡构成了自由空间偏振检测。