[发明专利]面板湿制程排气装置

权利要求书

1.一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出，所述面板湿制程排气装置还包括水汽分离装置、第二排气支管和第二防水盖板，所述第一排气支管连接于所述水洗单元和所述水汽分离装置之间，所述第二排气支管连接于所述水汽分离装置与所述排气主管之间，所述第二防水盖板设置在所述第二排气支管的进气口处，所述第二排气支管的进气口与所述水汽分离装置底面连接，且所述第二排气支管进气口与所述水汽分离装置的内部空间相通。

2.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一防水盖板与所述第一排气支管的进气口之间设有间隙，所述水洗单元中的水汽经由所述第一防水盖板与所述第一排气支管之间的间隙进入所述排气管路。

3.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一防水盖板完全封住所述第一排气支管进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。

4.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板与所述第二排气支管进气口之间设有间隙，所述水汽分离装置中水汽经由所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙进入所述排气管路。

5.如权利要求4所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板底部通过滤水层与所述第二排气支管之间密封连接，所述水汽分离装置中的水汽经由所述滤水层进入所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙，从而进入所述第二排气支管。

6.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板完全封住所述第二排气支管进气口，所述第二排气支管的侧壁设有透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。

7.如权利要求6所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二排气支管侧壁上设有滤水层，所述滤水层遮挡住所述透气孔，所述水汽分离装置中的水汽通过所述滤水层后，经由所述透气孔，进入所述排气管路。

8.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述水汽分离装置底部设有排水口，通过所述水汽分离装置增大与水汽的接触面积，使水汽在所述水汽分离装置中冷凝，冷凝水经排水口排出。

9.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一排气支管的进气口高于所述水洗单元的底面至少5cm。