[发明专利]多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置

说明书

技术领域

本发明是关于一种用于借由钻石尖点(钻石尖头)(diamondpoint)刻划玻璃基板或硅晶圆等脆性材料基板的多点工具、固定该多点工具的定位机构、内藏该定位机构的刻划头及刻划装置。

背景技术

现有习知的为了刻划玻璃基板或硅晶圆，采用使用刻划轮或单结晶钻石的钻石尖点的工具。针对玻璃基板，一直以来主要是采用相对于基板滚动的刻划轮，但从提高刻划后的基板强度等优点来看，也被检讨使用固定刀刃的钻石尖点。在专利文献1、2中提及用在刻划蓝宝石晶圆或氧化铝晶圆(aluminawafer)等高硬度的基板的尖点刀具。上述专利文献中，使用在角锥的棱线上设置有切割用尖点的工具、或前端成为圆锥的工具。此外，在专利文献3中，为了刻划玻璃板而提及一种刻划装置，该刻划装置是使用具有圆锥形前端的玻璃划线具。

专利文献1：日本特开2003-183040号公报

专利文献2：日本特开2005-079529号公报

专利文献3：日本特开2013-043787号公报

由于若以现有习知的工具进行刻划则尖点将磨耗(磨损)，因此有必要变更尖点。在角锥形或圆锥形的工具中成为可使用的顶点的尖点为二个部位或最多四个部位。因此存在如下的问题：当变更二个部位或四个部位的尖点时必须更换工具，且更换频度高。再者，为了更换工具，必须使保持工具的轴为中心并旋转，且难以精度佳地调整尖点接触基板的角度。

有鉴于上述现有的多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置存在的问题，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置，能够解决现有的刻划头及刻划装置存在的问题，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

发明内容

本发明是有鉴于如此般的现有习知问题而完成，本发明的目的在于提供一种即使是在刻划中所使用的尖点磨耗，也能够容易地变更并固定尖点位置的多点工具、多点工具的定位机构、内藏该定位机构的刻划头及刻划装置。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

本发明提供的多点工具的定位机构，是进行呈旋转自如地安装在刻划头的多点工具的定位；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第1缺口，在该第1缺口间呈等间隔地形成较第1缺口更深的多个第2缺口；该定位机构，具备：刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有相对于与轴垂直的另一轴倾斜的贯通孔；以及锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止。

本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下技术方案来实现。

本发明提供的多点工具的定位机构，是进行呈旋转自如地安装在刻划头的多点工具的定位；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第1缺口，在该第1缺口间呈等间隔地形成较第1缺口更深的多个第2缺口；该定位机构，具备：刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有与轴垂直地形成曲柄(crank)状的贯通孔；以及锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止。

本发明的目的及解决其技术问题采用以下技术措施进一步实现。

前述的锁止销以前端细的锥状部相互相向配合的方式形成，该锥状部插入该刃前端固定销的贯通孔。

前述的多点工具的定位机构进一步具有使该多点工具旋转既定角度的滑件。

本发明的目的及解决其技术问题另外还可采用以下技术方案来实现。

本发明的多点工具，是呈旋转自如地安装在刻划头；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成有多个第1缺口，在该第1缺口间呈等间隔地形成较第1缺口更深的多个第2缺口，在进行刻划时借由在该第2缺口抵接刃前端固定销而抑制其旋转。

本发明的目的及解决其技术问题另外还可采用以下技术方案来实现。