[发明专利]一种游标式光栅尺

权利要求书

1.一种游标式光栅尺，包括静止光栅、主动光栅和游标光栅，其特征在于：主动光栅置于静止光栅上，游标光栅固定在主动光栅的侧方，静止光栅、主动光栅和游标光栅置于一组透镜内，透镜A将光源的出射光调制成平行光，透镜B将光源经过上述光栅后的光线放大后投射到CCD上；

静止光栅上采用普通刻线，测量光栅的主动光栅也采用普通刻线，但在游标光栅上选取一定长度上刻有比静止光栅少一根的刻线。

2.如权利要求1所述的游标式光栅尺，其特征在于：透镜A、透镜B、光源位置相对固定，与主动光栅一起运动。

3.如权利要求1或2所述的游标式光栅尺，其特征在于：CCD将光信号转化为电信号传输到计算机上，计算机通过计数光脉冲数判断主动光栅的位置，再通过透射过游标光栅的光强判断游标读数值。

4.如权利要求1或2所述的游标式光栅尺，其特征在于：所述游标式光栅尺为直线光栅尺。

5.如权利要求1或2所述的游标式光栅尺，其特征在于：所述游标式光栅尺为圆光栅尺。

6.如权利要求3所述的游标式光栅尺，其特征在于：CCD传输出来的电信号出现三根静止光栅刻线的影像所在的长度内有三根游标光栅刻线影像，三根游标刻线的中间一根就是游标读数，该点位置光强为最大值。

7.如权利要求6所述的游标式光栅尺，其特征在于：主动光栅读数与游标光栅读数之和即光栅尺整体读数。