[发明专利]一种亚波长反射式一维金属波片及其制备方法有效
| 申请号： | 201510285816.8 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104849791B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王钦华;胡敬佩;李瑞彬;赵效楠;王淼;陈玲华;许富洋;曹冰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B5/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 波长 反射 式一维 金属 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述波片包括纳米介质光栅及位于所述纳米介质光栅上的金属层；所述金属层与所述纳米介质光栅之间无间隙；所述金属层上表面设有类光栅结构；所述纳米介质光栅的周期为80～350nm，占空比为0.3～0.8，厚度为50～200nm。
2.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述金属层连续。
3.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述金属为金、银、铝或者镉。
4.根据权利要求3所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述金属为铝。
5.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：采用磁控溅射方式在所述纳米介质光栅上设置金属层。
6.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述纳米介质光栅的介质为SiO2、MgF2或者PMMA。
7.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述金属层顶端与介质光栅上表面的距离为30～50nm。
8.根据权利要求1所述亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述纳米介质光栅的周期为250～300nm，占空比为0.4～0.5，厚度为100～120nm。
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