[发明专利]压电材料、压电元件、压电元件的制造方法和电子器件

权利要求书

1.压电材料，包括：

含有由下述通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物的主要成分；

含有Mn的第一辅助成分；和

含有电荷歧化为三价和五价的Bi的第二辅助成分，

其中含有的Mn的量为0.0020摩尔-0.0150摩尔，相对于1摩尔的该金属氧化物，并且含有的Bi的量为0.0004摩尔-0.0085摩尔，相对于1摩尔的该金属氧化物，

Ba_a(Ti_1-xZr_x)O₃(1)

其中0.020≤x≤0.130和0.996≤a≤1.030。

2.根据权利要求1的压电材料，还包括含有Si和B中的至少一种的第三辅助成分，

其中含有的第三辅助成分的量为0.0010重量份-4.000重量份，以金属计，相对于100重量份的由通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物。

3.根据权利要求1或2的压电材料，其中形成该压电材料的晶粒的平均当量圆直径为500nm-10μm。

4.根据权利要求1或2的压电材料，其中该压电材料的相对密度为93％-100％。

5.根据权利要求1或2的压电材料，其中该钙钛矿型金属氧化物的晶系在-25℃至50℃的范围内为斜方晶系。

6.根据权利要求1或2的压电材料，其中该压电材料的1kHz频率下的介电损耗正切在-25℃至50℃的范围内为0.006以下。

7.根据权利要求1的压电材料的制造方法，该方法包括烧结至少含有Ba、Ti、Zr、Mn和Bi成分的原料粉末，其中该原料粉末包括BaBiO₃固溶体。

8.压电元件，至少包括：

第一电极；

压电材料部；和

第二电极，

其中形成该压电材料部的压电材料是根据权利要求1的压电材料。

9.压电元件的制造方法，该方法包括：

对根据权利要求1的压电材料设置第一电极和第二电极；

在该压电材料变为四方系的温度下施加电压；和

在保持该电压的同时将该压电材料冷却到该压电材料变为斜方系的温度。

10.多层压电元件，包括：多个压电材料层和包括内部电极的多个电极层，将该压电材料层和该电极层交替地层叠，其中形成该压电材料层的压电材料是根据权利要求1的压电材料。

11.根据权利要求10的多层压电元件，其中该内部电极含有Ag和Pd，并且其中M1/M2的重量比为0.25≤M1/M2≤4.0，其中含有的Ag的重量为M1和含有的Pd的重量为M2。

12.根据权利要求10的多层压电元件，其中该内部电极含有Ni和Cu的至少一种。

13.排液头，至少包括：

液室，该液室包括设置有根据权利要求8的压电元件或根据权利要求10的多层压电元件的振动单元；和

与该液室连通的排出口。

14.排液装置，包括：

用于物体的载物台；和

根据权利要求13的排液头。

15.超声波马达，至少包括：

设置有根据权利要求8的压电元件或根据权利要求10的多层压电元件的振动部件；和

与该振动部件接触的移动部件。

16.光学器件，包括设置有根据权利要求15的超声波马达的驱动单元。

17.振动器件，包括振动部件，该振动部件包括设置有根据权利要求8的压电元件或根据权利要求10的多层压电元件的隔膜。

18.除尘器件，包括设置有根据权利要求17的振动器件的振动单元。

19.成像装置，至少包括：

根据权利要求18的除尘器件；和

图像传感器单元，

其中将该除尘器件的隔膜设置在该图像传感器单元的受光表面侧。

20.电子器件，包括设置有根据权利要求8的压电元件或根据权利要求10的多层压电元件的压电声部件。