[发明专利]一种高剩余极化的铁电薄膜在审
| 申请号： | 201510288063.6 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104987067A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 郑分刚;古寿林;吴星波 | 申请（专利权）人： | 常熟苏大低碳应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/491 | 分类号： | C04B35/491 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 剩余 极化 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：所述高剩余极化铁电薄膜为Cr3+掺杂PZT薄膜；所述Cr3+掺杂PZT薄膜中，Cr3+的摩尔百分比为2%～10%。
2.根据权利要求1所述高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：所述Cr3+掺杂PZT薄膜的厚度为400 nm。
3.根据权利要求1所述高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：所述Cr3+掺杂PZT薄膜中，Cr3+的摩尔百分比为5%。
4.根据权利要求1所述高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：将醋酸铅、钛酸丁酯、锆酸丁酯、铬盐溶解在醋酸和乙二醇甲醚混合液中，形成溶胶；再经溶胶凝胶法甩膜制备得到Cr3+掺杂PZT薄膜。
5.根据权利要求4所述高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：所述铬盐为硝酸铬或醋酸铬。
6.根据权利要求4所述高剩余极化铁电薄膜，其特征在于：醋酸和乙二醇甲醚的体积比为1：(1～4)。
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