[发明专利]一种轮廓检测装置及其检测光学非球面的方法

权利要求书

1.一种轮廓测量装置，用于检测光学非球面的面型轮廓，包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构，其特征在于，所述测量机构包括：

与所述导轨滑动连接的连接件；

设置在所述连接件上的杠杆机构，所述杠杆机构的杠杆的一端，连接有能够与光学非球面接触的球头，另一端连接有测量探头，并且所述杠杆机构能够将光学非球面的表面轮廓起伏放大。

2.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，其特征在于，所述导轨由设置在底座上的支架支撑，并且所述底座上滑动设置有安放光学非球面的工作台，所述工作台的滑动方向垂直于所述导轨。

3.根据权利要求2所述的轮廓测量装置，其特征在于，所述工作台上设置有驱动所述工作台移动的第一驱动电机。

4.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，其特征在于，所述导轨的端部设置有驱动所述测量机构在所述导轨上往复移动的第二驱动电机。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的轮廓测量装置，其特征在于，所述杠杆机构包括所述杠杆和作为支点以支撑所述杠杆的支撑件，并且所述杠杆为殷钢杆，所述支撑件为殷钢件。

6.一种检测光学非球面的方法，其特征在于，该方法适用于上述权利要求1-5中任意一项所述的轮廓测量装置，其包括以下步骤：

1)对轮廓测量装置的测量精确性进行检验；

2)令所述杠杆机构保持在平衡状态，将此时所述杠杆机构所在的位置记做初始化零位；

3)在所述杠杆机构保持在初始化零位的位置时，使所述球头从预先设定的起始位置开始，在光学非球面的表面上连续移动；

4)在所述球头移动的过程中，所述测量探头记录自身在所述杠杆机构带动下位置变化的数据，并将数据传输至计算机中；

5)计算机接收数据后，对数据进行计算，得到与所述球头接触的光学非球面的表面的坐标数据，检测操作完成。