[发明专利]一种分体式可控温加热盘结构

权利要求书

1.一种分体式可控温加热盘结构，其特征在于：该加热盘内部具有加热结构，还设计有冷却结构、热传导介质输送、流通结构，可更换盘面结构及防晶圆漂浮结构。

2.如权利要求1所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于它的具体结构，包括加热盘基座，在加热盘基座内安装有沿涡旋状排布的加热管道及冷却管道，上述加热盘基座的中部安装导热介质进气管路，上述加热盘基座上方安装可更换盘面，使用螺钉通过螺钉孔进行连接，上述可更换盘面上方设计有喷气环、热传导介质进气孔、热传导介质流通通道，导热介质通过上述的热传导介质进气孔进入可更换加热盘面与晶圆之间。

3.如权利要求1所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：上述加热结构采用加热丝或管路以铸造或焊接的结构方式，或在其中采用机械加工的方式加工出环形沟槽，并在其内通入导热流体。

4.如权利要求1所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：上述加热及冷却结构按涡旋或迷宫形式排布，并尽量使加热布局与冷却布局靠近。

5.如权利要求2所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：所述可更换加热盘面的内部加工有沿径向成放射形分布的喷气通道。

6.如权利要求2所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：上述可更换加热盘面根据不同工艺或实验需求进行更换。

7.如权利要求1所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：防晶圆漂浮结构的设计采用非接触方式，平衡晶圆上下表面的压力差。

8.如权利要求2所述的分体式可控温加热盘结构，其特征在于：热传导介质进气管路采用焊接或机械加工后使用螺栓连接的结构方式，连接部分使用胶圈或金属密封圈的密封方式。