[发明专利]具有在线测量功能的微孔超声加工机床

权利要求书

1.一种具有在线测量功能的微孔超声加工机床，包括机床底座（1）、安装于机床底座前部的工具针三维调节装置（2）、由工具针三维调节装置（2）调节其位置的超声加工组件、安装在机床底座中部的模具旋转装置（8）和用于驱动模具旋转装置的旋转电机（12）；其特征是：所述模具旋转装置（8）上安装有能够调节模具位置的模具微调装置（7）；所述超声加工组件包括有依次连接的超声换能器（4）、变幅杆（5）和工具针（6）； 所述工具针三维调节装置上连接能够调节超声加工工作压力的压力调节装置（3）；在机床底座后部安装有独立于机床底座的能够拍摄、测量加工区域的测量校正装置。

2.根据权利要求1所述的具有在线测量功能的微孔超声加工机床，其特征是：所述在线测量校正装置包括能够拍摄加工区域影像的CCD摄像头（11）和与CCD摄像头信号连接的CRT屏幕（9）；所述CCD摄像头能够通过设置在模具旋转装置和模具微调装置中间的通孔直接观察加工区域；所述CRT屏幕上设有可调节位置的十字叉丝（10）。

3.根据权利要求1所述的具有在线测量功能的微孔超声加工机床，其特征是：所述工具针三维调节装置包括粗调机构和微调机构两级调节机构；所述粗调机构包括长度方向位移台，所述微调机构由两个平移台和一个升降台组成。

4.根据权利要求1所述的具有在线测量功能的微孔超声加工机床，其特征是：所述模具微调装置包括有模具微调装置底座和均匀分布于所述调模具微调装置底座的一个弹簧顶杆和两个螺纹顶杆。

5.根据权利要求1所述的具有在线测量功能的微孔超声加工机床，其特征是：所述工作压力调节装置包括均力弹簧组和由动导轨（15）和定导轨（14）组成的交叉滚子导轨副；所述定导轨固定于所述工具针三维调节装置上，所述动导轨与换能器相连；所述均力弹簧组由一根均力拉簧和三根均力压簧组成；所述均力压簧前端顶于所述工具针三维调节装置，后端顶于所述动导轨的安装件上；所述拉簧前端连接于所述工具针三维调节装置，后端连接于所述动导轨的安装件上。

6.根据权利要求1所述的具有在线测量功能的微孔超声加工机床，其特征是：本发明的机床还包括固定于所述CCD摄像头上的照明装置，所述照明装置聚焦于加工区域。