[发明专利]MEMS光阀及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201510290290.2 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104834085B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 曲连杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 腾一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种MEMS光阀，包括衬底、设置在所述衬底表面上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上，其特征在于，所述柱状结构的表面上设置有连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述可动光栅上还形成有保护层，且所述连接层与所述保护层为同一层结构。
3.根据权利要求2所述的MEMS光阀，其特征在于，所述连接层的材料为树脂、二氧化硅或氮化硅。
4.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述柱状结构为透明材料。
5.根据权利要求4所述的MEMS光阀，其特征在于，所述透明材料为氮化硅、碳化硅或二氧化硅。
6.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-5任一所述的MEMS光阀。
7.一种MEMS光阀的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底上形成固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上；
在所述柱状结构的表面上形成连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。
8.根据权利要求7所述的MEMS光阀的制作方法，其特征在于，还包括在所述可动光栅上形成保护层，其中，所述连接层与所述保护层为相同材料且在一次构图工艺中形成。
9.根据权利要求8所述的MEMS光阀的制作方法，其特征在于，所述连接层的材料为树脂、二氧化硅或氮化硅。
10.根据权利要求7所述的MEMS光阀的制作方法，其特征在于，所述柱状结构为透明材料。
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