[发明专利]一种波导激光器的制备方法

权利要求书

1.一种波导激光器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤1，选择形状为长方体的LiNbO₃晶体，对LiNbO₃晶体的上表面和其中两个相对的侧面进行抛光，并清洗抛光后的上表面和两个相对的侧面；

步骤2，在清洗后的LiNbO₃晶体上表面蒸发一层镱膜，并对镱膜进行扩散处理，得到Yb:LiNbO₃晶体；

步骤3，在镱膜的中间预留3-5mm的通道，该通道与步骤1所述两个相对的侧面垂直，且通道的两端分别延至上表面的两端，在通道两侧镀一层金属保护膜，对预留的通道刻出波导；

步骤4，在步骤3的基础上对Yb:LiNbO₃晶体进行质子交换和退火处理，得到光波导；

步骤5，对光波导进行反质子交换，得到掩埋质子交换波导；

步骤6，在掩埋质子交换波导的两个相对侧面镀激光谐振腔膜，得到波导激光器。

2.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤2所述镱膜的厚度为30nm。

3.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤2所述扩散处理过程中，将镱膜在1100-1300摄氏度的温度下进行15-25个小时的扩散处理。

4.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤3所述金属保护膜为金属铝保护膜。

5.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤4所述质子交换过程中，将质子源和Yb:LiNbO₃晶体加热到200摄氏度后，进行120分钟的质子交换。

6.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤4所述退火处理过程中，将质子交换后的Yb:LiNbO₃晶体放在退火炉中，在370摄氏度下维持180分钟的退火。

7.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤5所述反质子交换过程中，将光波导浸没于摩尔浓度比为37.5:44.5:18.0的KNO3:NaNO3:LiNbO3混合熔液中，在350摄氏度下持续12个小时的反质子交换。

8.如权利要求1所述波导激光器的制备方法，其特征在于：步骤6所述在掩埋质子交换波导的两个相对侧面镀激光谐振腔膜具体为：其中一个侧面镀918nm的增透膜和1061nm的高反膜，另一个侧面镀镀1061nm的增透膜和918nm的高反膜。